對應(yīng)300mm晶片的平行密封型縫閥 XGTP
 | ?長壽命：300萬次（常溫時） ?發(fā)塵量：減少至1/5以下（與以前型號相比） ?維護性提高 波紋管更換更容易 可通過頂部拆裝們（訂制規(guī)格） ?安全對策 采用機械式端鎖機構(gòu) |
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下載 | 其他資料 |
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| 系列 | 使用壓力范圍（Pa） | 使用流體 | 門尺寸 （高×寬）（mm） | 動作壓力 （MPa） |
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| XGTP | 大氣壓～10-6 | 惰性氣體 | 50×336 | 0.45～0.6 |
對應(yīng)300mm晶片的平行密封型縫閥XGTP
| 系列 | 下載 |
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| XGTP | |
縫閥 XGT
 | ?在半導(dǎo)體裝置等中、適合用作負載鎖定室和搬送室以及搬送室和過程處理室之間的隔斷閥。 |
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下載 | 其他資料 |
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| 系列 | 使用壓力范圍（Pa） | 使用流體 | 門尺寸 （高×寬）（mm） | 動作壓力 （MPa） |
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| XGT | 大氣壓～1×10-6 | 惰性氣體類的真空 | 32×222 46×236 50×336 | 0.45～0.6 |
縫閥XGT
| 系列 | 下載 |
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| XGT | |
