?用于空氣、中真空、水。 ?主體材質(zhì):Al、樹(shù)脂(PPS)、C37、SUS。 ?有帶快換管接頭(樹(shù)脂主體)的型號(hào)。 ?IP65。 | |
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其他資料 |
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系列 | 閥形式 | 接管口徑 | 孔口徑 |
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VDW10/20 | N.C. | φ3.2,φ4,φ6,M5,1/8 | φ1~φ3.2 |
系列 | 下載 |
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VDW10/20 | |
※VDW10/20系列于2012年12月停產(chǎn)。 請(qǐng)選擇NewVDW10/20系列。 ※VDW30系列于2015年7月停產(chǎn)。 請(qǐng)選擇VX21系列。 ※3通閥VDW200/300仍在銷售。 | |
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其他資料 |
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系列 | 閥形式 | 接管口徑 | 孔口徑 (mmφ) |
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VDW10/20/30 | N.C. | M5~1/4 (8A) | 1~4 |
VDW200/300 | C.O. | M5~1/4(8A) | 1~4 |
系列 | 下載 |
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VDW10/20/30 | |
VDW200/300 | |
?采用體積小、重量輕的樹(shù)脂主體(PPS)。 ?IP65。 ?消耗功率:3W(標(biāo)準(zhǔn))、0.5W(帶節(jié)電回路)。 | |
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其他資料 |
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系列 | 閥形式 | 接管口徑 | 孔口徑(mmφ) |
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VDW30/40-XF | N.C. | 快鎖P7,P8 φ4,φ6,φ8,φ10 | 1~6 |
系列 | 下載 |
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VDW30/40-XF | |
?高速響應(yīng):ON時(shí) 0.45ms、OFF時(shí) 0.4ms(±0.05ms)。 ?長(zhǎng)壽命 50億次以上。 ?高頻率 1200Hz。 ?薄型 9mm。 ?低功耗 4W。 | |
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其他資料 |
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系列 | 流量 | 消耗功率 (W) | 高動(dòng)作頻率 (Hz) |
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SX10 | 50 | 80 40 10 4 | 1200 1000 550 350 |
SX10 | 100 | 80 40 10 4 | 650 550 300 200 |
SX10 | 150 | 80 40 10 4 | 600 500 250 150 |
系列 | 下載 |
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SX10 | |
SX10 | |
SX10 | |
?小型 全長(zhǎng):約38mm(2通閥)、54mm(3通閥) 閥寬、高:10mm 質(zhì)量:10g(2通閥)、20g(3通閥) ?大流量 C[dm3/(s·bar)]:0.25(2通閥)、0.5(3通閥) 流量[L/min(ANR)]:45(2通閥)、90(3通閥) (0.2MPa時(shí)) | |
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其他資料 |
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系列 | 閥構(gòu)造 | C[dm3/(s·bar)] | 流量[L/min(ANR)] 0.2MPa時(shí) | 切換方式 |
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SX91 | 2通直動(dòng)式座閥 | 0.25 | 45 | 常斷 |
SX92 | 2通直動(dòng)式座閥 | 0.12 | 22 | 通用 |
SX090 | 3通直動(dòng)式座閥 | 0.5 | 90 | 通用 |
系列 | 下載 |
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SX91 | |
SX92 | |
SX090 | |
?高頻率動(dòng)作。 高速響應(yīng)7ms以下(VQ20)、20ms以下(VQ30)。 ?內(nèi)置快換管接頭,便于配管。 ?DIN連接 可對(duì)應(yīng)防塵、防噴流型(IP65)。 ?用于工件的吹氣、吹掃。 ?集裝底座型號(hào):VV2Q22,VV2Q32。 | |
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其他資料 |
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系列 | 閥形式 | 接管口徑 | 孔口徑(mmφ) |
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VQ20 | N.C. | φ6~φ12 | 3.4 |
VQ30 | N.C. | φ6~φ12 | 4.8 |
系列 | 下載 |
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VQ20 | |
VQ30 | |
?低發(fā)塵、禁油、無(wú)金屬 ※接觸液體部分 ?分離構(gòu)造 膜片將使用流體區(qū)域與點(diǎn)磁頭驅(qū)動(dòng)部分隔離開(kāi) ?消耗功率:1.0W以下(帶節(jié)電回路) ?容積變化量(抽取量):0.01μL以下 | |
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其他資料 |
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系列 | 閥構(gòu)造 | 閥形式 | 使用壓力范圍 | 孔口徑(mm) |
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LVM07 底座配管型 | 直動(dòng)搖臂型 | N.C. | -75kPa?0.1MPa | 0.8 |
LVM09 直接配管型 底座配管型 | 直動(dòng)搖臂型 | N.C. N.O. 通用 | -75kPa?0.2MPa | 1(直接配管) 1.1(底座配管) |
LVM10 直接配管型 底座配管型 | 直動(dòng)搖臂型 | N.C. N.O. 通用 | -75kPa?0.25MPa | 1.4 |
LVM15 直接配管型 底座配管型 | 直動(dòng)搖臂型 | N.C. N.O. 通用 | -75kPa?0.25MPa (大0.6MPa) | 1.6 1(高壓型) |
LVM20 直接配管型 底座配管型 | 直動(dòng)搖臂型 | N.C. N.O. 通用 | -75kPa?0.3MPa (直接配管型為0.25MPa) | 2 |
LVM1□ 直接配管型 底座配管型 | 直動(dòng)搖臂型 | N.C. | 0?0.25MPa | 1.5 |
系列 | 下載 |
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LVM07 底座配管型 | |
LVM09 直接配管型 底座配管型 | |
LVM10 直接配管型 底座配管型 | |
LVM15 直接配管型 底座配管型 | |
LVM20 直接配管型 底座配管型 | |
LVM1□ 直接配管型 底座配管型 | |
?低發(fā)塵、禁油、無(wú)金屬。 ?使用流體:空氣、水、脫離子水(純水)、稀釋液、洗凈液。 ?分離構(gòu)造 隔離密封墊將使用流體區(qū)域與電磁驅(qū)動(dòng)部隔離。 ?簡(jiǎn)單配管。 ?防止液體積留。 ?不需要調(diào)節(jié)流量。 | |
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其他資料 |
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系列 | 閥形式 | 配管方向 | 接觸液體部分材質(zhì) |
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LVMK | N.C. 萬(wàn)向型 | 下方配管 橫向配管 | 主體:PPS 密封件:EPDM, FKM |
系列 | 下載 |
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LVMK | |
?為了讓流體不接觸閥的可動(dòng)部,使用一次性的無(wú)污染物流入的管子,無(wú)需洗凈工藝且更加衛(wèi)生 ?小型,閥寬:20mm ?消耗功率:1.5W(內(nèi)置節(jié)電回路) ?管子的耐久性提高 夾管部為圓弧形,降低對(duì)管子的損傷 ?管子易于更換(拆裝) | |
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其他資料 |
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系列 | 切換方式 | 閥形式 | 適合管子 |
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LPV | 直動(dòng)型點(diǎn)磁閥 | N.O. | 硅樹(shù)脂 外徑?4、內(nèi)徑?2 外徑?5/32"、內(nèi)徑?1/32" |
系列 | 下載 |
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LPV | |
?用于精密洗凈及潔凈室組裝。 ?全部產(chǎn)品均經(jīng)過(guò)了氦氣泄漏檢測(cè)。 ?符合SEMI規(guī)格 ?采用方便作業(yè)的鍛造主體。 | |
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其他資料 |
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系列 | 形式 | 主體材質(zhì) | 配管連接 | 配管尺寸 |
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AZ | 氣控型 | SUS316L | 面密封接頭 管子焊接 | 1/4'' 3/8'' 1/2 |
AZ | 手動(dòng)型 | SUS316L | 面密封接頭 管子焊接 | 1/4'' 3/8'' 1/2 |
系列 | 下載 |
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AZ | |
AZ | |
?低使用壓力:1×10-6Pa(abs) ?泄漏量:內(nèi)部1.3×10-9Pa?m3/s、外部1.3×10-11Pa?m3/s。 ?有2種接頭和內(nèi)螺紋可選。 ?消耗功率:多削減25%。 ?多減小18% 0.5kg→0.41kg。 | |
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其他資料 |
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系列 | 閥形式 | 使用流體 | 配管連接方式 | 配管尺寸 |
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XSA | 常閉 | 空氣 惰性氣體 | 面密封接頭 卡套式接頭 | 1/4, 3/8 |
XSA | 常閉 | 空氣 惰性氣體 | Rc, NPT內(nèi)螺紋 | 1/8, 1/4, 3/8 |
系列 | 下載 |
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XSA | |
XSA | |