YXMXYRA60(組合)
靜態(tài)平行度:0.1mm
大荷重:6.5kgf
XY軸
傳動機構(gòu):φ6-P滾珠螺桿
移動行程:±10mm
大速度:20mm/sec
單向定位精度:0.01mm
往復(fù)定位精度:0.001mm
反轉(zhuǎn)間隙:0.005mm
運動平行度:0.01mm
R軸
傳動機構(gòu):渦輪渦桿(1/80)
移動行程:360°
大速度:26°/sec
單向定位精度:0.05°
往復(fù)定位精度:±0.01°
反轉(zhuǎn)間隙:0.01°
運動平行度:0.03mm