產(chǎn)品簡介:1700℃兩通道混氣高真空CVD系統(tǒng)GSL-1700X-4-C2HV是由單溫區(qū)管式爐、兩路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成,高工作溫度可達(dá)1600℃,混氣系統(tǒng)可以對兩種氣體進(jìn)行精確的混氣,然后導(dǎo)入管式爐內(nèi)部,本系統(tǒng)極限真空度可達(dá)10-5 torr。
產(chǎn)品型號 | 1700℃兩通道混氣高真空CVD系統(tǒng)GSL-1700X-4-C2HV |
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:不需要 2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地 3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體,需自備氣瓶氣源 4、工作臺:尺寸1600mm×600mm×700mm,承重150kg以上 5、通風(fēng)裝置:需要 |
主要特點 | 1、雙層殼體,配有風(fēng)冷系統(tǒng),殼體溫度<55℃。 2、采用高純氧化鋁纖維,有效減少熱量損失。 3、內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口氧化鋁涂層,可以提高加熱效率和使用壽命。 4、采用PID控制器 ,可以設(shè)置30段升降溫程序。 5、已通過CE認(rèn)證。 |
技術(shù)參數(shù) | 管式爐 1、電源:單相AC 208V-240V 50Hz/60Hz 6KW 2、爐管:高純氧化鋁陶瓷管,外徑Ø100mm,內(nèi)徑Ø92mm,長1000mm 3、加熱元件:1800℃硅鉬棒8根 4、加熱區(qū)域:457mm 5、恒溫區(qū)域:150mm 6、工作溫度:高1650℃,連續(xù)工作1600℃ 7、大升溫速率:≤5℃/min 8、控溫精度:±1℃ 9、熱電偶:B型 10、不銹鋼真空法蘭:1對 11、機(jī)械壓力表:1個 12、針閥:2個 13、連接器:KF-25,1個 14、抽氣接口:KF-25轉(zhuǎn)KF-40 15、卡套接頭:1/4″ |
高真空機(jī)組 1、電源:單相AC208V-240V 50Hz/60Hz 100W-110W 2、真空泵:德國Pfeiffer真空泵 3、顯示屏:LCD數(shù)字顯示 4、抽氣速率:N2-33L/s,He-39L/s,H2-32L/s 5、工作范圍:1000mtorr-10-7mtorr 6、極限:10-8mtorr(無泄漏) | |
質(zhì)量流量混氣系統(tǒng) 1、電源:單相AC208V-240V 50Hz/60Hz 18W 2、功率:18W 3、混氣箱:Φ80mm×120mm | |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸:管式爐550mm×380mm×520mm,高真空機(jī)組600mm×600mm×700mm, 質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)600mm×600mm×700mm |