產(chǎn)品簡介:1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)GSL-1700X-F3LV是由單溫區(qū)管式爐、三路浮子混氣系統(tǒng)和雙旋片式真空泵組成,高工作溫度可達1700℃,混氣系統(tǒng)可以對三種氣體進行精確的混氣,真空度可達5×10-2 torr。
產(chǎn)品型號 | 1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)GSL-1700X-F3LV |
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:不需要 2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地 3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體,需自備氣瓶氣源 4、工作臺:尺寸1600mm×600mm×700mm,承重150kg以上 5、通風(fēng)裝置:需要 |
主要特點 | 1、雙層殼體,配有風(fēng)冷系統(tǒng),殼體溫度<55℃。 2、采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料,有效減少能量損失。 3、內(nèi)爐膛表面涂有美國進口氧化鋁涂層,可以提高加熱效率和延長使用壽命。 4、采用PID控制器 ,可以設(shè)置30段升降溫程序,并設(shè)有過熱和斷偶保護功能。 5、已通過CE認(rèn)證。 |
技術(shù)參數(shù) | 管式爐 1、電源:單相AC 208V-240V 50Hz/60Hz 5KW 2、爐管:99.8%高純氧化鋁陶瓷管,外徑Ø80mm,內(nèi)徑Ø72mm,長1000mm 3、加熱元件:1800℃級硅鉬棒8根 4、加熱區(qū)域:457mm 5、恒溫區(qū)域:150mm 6、工作溫度:高1700℃ 7、大升降溫速率:5℃/min 8、控溫精度:±1℃ 9、真空度:5×10-2 torr 10、泄漏率:大6mtorr/min |
真空系統(tǒng) 1、真空泵:雙旋片機械泵 2、可達真空度:5×10-2 torr 3、法蘭:不銹鋼密封法蘭 4、針閥:2個不銹鋼針閥 5、真空泵接口:KF-25 6、軟管接頭:1/4″ 7、真空顯示計:LED數(shù)字式真空顯示計,測量范圍0.1mtorr-850torr | |
浮子流量混氣系統(tǒng) 1、浮子流量計:3個,精確度4%FS 2、流量計范圍:10cc/min-100cc/min,16cc/min-160cc/min,25cc/min-250cc/min 3、壓力表:1個,監(jiān)測混合氣體壓力 | |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸:管式爐550mm×500mm×700mm,混氣系統(tǒng)600mm×600mm×700mm, 真空機組600mm×600mm×700mm 重量:210kg |
可選配件 | 防腐型數(shù)字式真空顯示計 |