產品簡介:GSL-1800X-ZF4蒸發(fā)鍍膜儀是一款高真空的蒸發(fā)鍍膜儀,特別適合蒸鍍對氧較敏感的金屬膜(如Ti、Al 、Au等)和小分子的有機物。本機設有4個蒸鍍加熱舟,每個加熱舟都可獨立進行蒸鍍,加熱舟上方有一個可旋轉擋板,當其中一個加熱舟進行蒸鍍時擋板將其它三個鎢舟遮住,以防蒸鍍材料之間相互污染。若更改部分配置也可實現(xiàn)對有機材料的蒸發(fā)鍍膜,可滿足發(fā)光器件及有機太陽能電池方面的研究要求,是一款鍍膜效果理想且性價比較高的實驗設備。GSL-1800X-ZF4蒸發(fā)鍍膜儀腔底部配有5個水冷電極,在工作過程中可有效保護電極溫度不會因溫度過高而熔化,進而損壞電極。該機采用金屬腔室,具有*的真空度,真空度可達到5.0×10-7torr,樣品臺可對樣品進行加熱,加熱溫度為室溫-500℃,是進行高真空蒸發(fā)鍍膜的設備。
產品名稱 | GSL-1800X-ZF4蒸發(fā)鍍膜儀 |
產品型號 | GSL-1800X-ZF4 |
安裝條件 | 本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:設備配有自循環(huán)冷卻水機(加注純凈水或者去離子水) 2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地 3、工作臺:落地式,占地面積2m2以上。 4、通風裝置:需要 |
主要特點 | 1、真空控制單元全部集合在一個控制盒內。 2、采用獨立的蒸鍍電流控制器,操作方便快捷。 3、真空腔體設有1個KF40旁抽閥(直接與前級機械泵相連,提高效率)、1個CF150閘板閥(直接與分子泵相連)、1個KF16法蘭(安裝電阻規(guī))、6個CF35法蘭(1個安裝電離規(guī),1個安裝2芯電極,1個安裝膜厚儀) 4、在腔體底部配有5個水冷電極,可支持4個蒸鍍加熱舟。 5、樣品臺安裝在腔體的頂部。 6、腔內可裝高分辨率的薄膜測厚儀,膜厚測量分辨率(鋁)為0.1Å。 7、可使用循環(huán)水冷機。 |
技術參數(shù) | 1、輸入:單相AC220V,50Hz/60Hz,功率<2.16KW(不含真空泵) 2、蒸發(fā)輸出:電壓AC 0-8V連續(xù)可調,極限蒸發(fā)電流200A,極限蒸發(fā)功率<1.6KW 3、真空腔:Ø300mm(內徑)×400mm,不銹鋼,內壁經電拋光處理 4、觀察窗:Ø100mm,采用密封圈密封 5、真空泵:高抽速渦輪分子泵,抽速600L/s 6、真空度:8.0x10-4Pa 7、極限真空8.0x10-5Pa 8、漏率:6.7×10-8Pa·L/S 9、樣品臺:φ120 10、蒸發(fā)舟與樣品臺間距:150-210mm 11、冷卻水需量:15L/min |
產品規(guī)格 | 尺寸:900mm×1100mm×1800mm;重量:230kg |