1、精密減壓閥體積小,重量輕;
2、比傳統(tǒng)的精密減壓閥IR200流量大20%(大1100L/min);
3、比傳統(tǒng)的精密減壓閥IR200排氣量大5倍;
4、壓力設(shè)定準(zhǔn)確(調(diào)節(jié)螺栓的齒間距由傳統(tǒng)的0.75mm改0.5mm);
5、精密減壓閥安裝方便。可用托架獨(dú)立安裝或現(xiàn)在的模塊式過(guò)濾組合AFM直接安裝;
6、標(biāo)準(zhǔn)也帶面板式安裝;
7、先導(dǎo)排氣口與主道排氣口分開;
8、精密減壓閥可在潔凈房使用。