六源有機(jī)無機(jī)聯(lián)合蒸發(fā)鍍膜設(shè)備適用于制備金屬單質(zhì)薄膜、半導(dǎo)體薄膜、氧化物薄膜、有機(jī)薄膜等,可用于科研單位進(jìn)行新材料、新工藝薄膜研究工作,也可用于大批量生產(chǎn)前的試驗(yàn)工作。OPV系列真空蒸發(fā)鍍膜與手套箱聯(lián)合系統(tǒng)的用戶群體為科研院所及實(shí)驗(yàn)室,將真空蒸發(fā)系統(tǒng)工作室置于Glove box無水、無氧、無塵的超純環(huán)境中,PVD與Glove box硬件無縫對接,操控融合一體,廣泛應(yīng)用于有機(jī)、無機(jī)、鈣鈦礦薄膜太陽能電池、OLED等研究領(lǐng)域。
產(chǎn)品型號 | 六源有機(jī)無機(jī)聯(lián)合蒸發(fā)鍍膜設(shè)備 |
主要特點(diǎn) | 1、樣品在鍍膜過程中,帶有烘烤加熱功能,高烘烤加熱溫度為:室溫~180℃,測溫控溫。 2、設(shè)備帶有斷水?dāng)嚯娺B鎖保護(hù)報(bào)警裝置、防誤操作保護(hù)報(bào)警裝置。 |
技術(shù)參數(shù) | 1、鍍膜室:鍍膜腔室尺寸約為600×450×450mm,不銹鋼材料,方形前后開門結(jié)構(gòu),內(nèi)帶有防污板。 3、蒸發(fā)源系統(tǒng): 4、樣品架系統(tǒng): 樣品架可旋轉(zhuǎn),旋轉(zhuǎn)速度為:0~30轉(zhuǎn)/分; 7、 5、無機(jī)蒸發(fā)源2套、容積5ml,2臺蒸發(fā)電源,加熱電流300A,功率3.2Kw; |