產(chǎn)品簡(jiǎn)介:SKCC-ZZB-X高真空磁控濺射永磁靶頭(自旋轉(zhuǎn)靶頭)適用靶材種類較廣,如金屬/絕緣靶或磁性/非磁性靶材。配裝有環(huán)形永磁體在靶頭上,以保證濺射鍍膜的效率和均勻性。可與DC或RF電源配合使用。
產(chǎn)品型號(hào) | SKCC-ZZB-X(高真空磁控濺射自旋轉(zhuǎn)靶頭) |
產(chǎn)品規(guī)格 | 2寸,SKCC-ZZB-2 3寸,SKCC-ZZB-3 4寸,SKCC-ZZB-4 5寸,SKCC-ZZB-5 6寸,SKCC-ZZB-6 7寸,SKCC-ZZB-7 |
主要特點(diǎn) | 1、轉(zhuǎn)靶帶擋板(可電動(dòng)控制,可手動(dòng)控制); 2、采用電磁場(chǎng)的有元計(jì)算法來設(shè)計(jì)永磁體,以得到較高的磁場(chǎng)強(qiáng)度和均勻分布; 3、轉(zhuǎn)靶轉(zhuǎn)速5~60轉(zhuǎn)/分可調(diào); 4、標(biāo)準(zhǔn)的HN型接頭,可與DC和RF電源相匹配。 5、安裝采用標(biāo)準(zhǔn)真空接頭,便于操作。 6、靶材更換較為簡(jiǎn)單,無需調(diào)整濺射頭的高度。 |
配套電源 | 1、直流DC;2、射頻RF |