從50MΩ電阻液體到普通水都能穩(wěn)定檢測(cè)。
可設(shè)定4級(jí)檢測(cè)范圍,能夠根據(jù)液體特性檢測(cè)。
電間電阻檢測(cè)方式
防爆隔離柵(另售)
漏液位置檢測(cè)器在危險(xiǎn)環(huán)境中也能夠使用、具有小型防爆隔離柵,已形成產(chǎn)品系列。
交流檢測(cè)方式
采用交流方式向檢測(cè)帶供給信號(hào),安全不觸電。
干擾消除回路(PAT)
使用了3芯電纜的干擾消除回路具有出色的抗干擾性,可穩(wěn)定檢測(cè)漏液。
多通道使用
電源回路與檢測(cè)回路的絕緣,在同一位置可安裝多個(gè)傳感器。
檢測(cè)半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)施的結(jié)露和漏液
可以檢測(cè)清洗設(shè)備內(nèi)部的結(jié)露和周圍的漏液。
有優(yōu)秀的抗化學(xué)腐蝕性的檢測(cè)帶
電采用SUS316,絕緣包層采用聚乙烯。提高了耐酸堿性等。
檢測(cè)液體化學(xué)品存儲(chǔ)罐的管接頭處的漏液
可將檢測(cè)帶纏繞在管接頭處等有可能漏液的部位上檢測(cè)漏液。
CMP儀器中量筒的液體泄漏檢測(cè)
能檢測(cè)泄漏到排水盤中的液體,從而預(yù)防裝置損壞及晶片的清洗不良。
檢測(cè)電鍍?cè)O(shè)備的清洗液的液位
檢測(cè)清洗槽內(nèi)的純水水位。
利用高靈敏度的高精度控制防止清洗不良。
注:在防爆區(qū)域中如果一個(gè)水槽上使用2個(gè)以上的K7L,請(qǐng)務(wù)必將水槽接地。