測量中心距離為20 ～ 1,500 mm的各種型號。
大分辨率達0.25 μm。
大響應(yīng)速度達110 μs。
支持并行輸出。

重視性能的理想傳感器頭尺寸和3點式固定構(gòu)造確保出眾的傳感穩(wěn)定性。（參見注釋）

注：ZS-HLDS2T 不可用。

通過提高受光透鏡的靈敏度和分辨率，使光學(xué)系統(tǒng)較優(yōu)化，從而大幅度降低移動分辨率誤差（因工件表面位置引起的誤差）。

CCD在受光量過多時電荷會溢出至相鄰的像素。CMOS避免了這種現(xiàn)象，不會受不同材質(zhì)或受光過多導(dǎo)致的光量變動影響。

降低決定測量精度的不同物體之間的差異。
因此，可以更方便地應(yīng)用于檢測對象物。

1,500mm長距離檢測，可以測量以往無法測量的點。

注：此功能可能在明亮環(huán)境中無效。

可穩(wěn)定測量傾斜工件和移動工件。

專門為ZS-HLDS2VT開發(fā)的非球面透鏡，采用的光學(xué)結(jié)構(gòu)設(shè)計適用于正反射工件。顯著擴大了允許傾斜的角度，并提高了測量透明工件和正反射工件的穩(wěn)定性。

在半導(dǎo)體晶圓片、玻璃等要求精度高的測量上具有壓倒性的優(yōu)勢。

令人難以置信的測量精度0.25μm，同級產(chǎn)品的較高水平。