數(shù)控石英切槽磨床是我公司為半導(dǎo)體石英制品行業(yè)開發(fā)的高精度溝槽磨床,采用龍門式結(jié)構(gòu),剛性好,精度穩(wěn)定,可用于半導(dǎo)體石英行業(yè)6寸、8寸、12寸石英舟的溝槽加工。可加工槽棒以及焊接后的溝槽加工,還可直接加工傾斜槽。自問世后深受廣大用戶的青睞。本系列機(jī)床已獲得國家實(shí)用新型,.9。
機(jī)床特點(diǎn)
2、各坐標(biāo)軸均采用高精度予負(fù)荷線性導(dǎo)軌和滾珠絲杠付傳動(dòng),運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)、剛性好、精度高;
3、采用全封閉防護(hù)、安全可靠、冷卻液不污染環(huán)境;操作調(diào)整方便,造型美觀宜人。
4、B軸轉(zhuǎn)角,采用伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng),絲杠傳動(dòng)運(yùn)行平穩(wěn)、轉(zhuǎn)角準(zhǔn)確可靠。
主要技術(shù)參數(shù)
項(xiàng)目 | 單位 | TY-QM1300 |
X軸行程 | ㎜ | 1350 |
Y軸行程 | ㎜ | 300 |
Z軸行程 | ㎜ | 300 |
B軸擺角(伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)) | 0-7.5° | |
工作臺(tái)面積 | ㎜ | 1200×300 |
小脈沖當(dāng)量 | ㎜ | 0.001 |
快移速度 | ㎜/min | Max6000 |
磨頭轉(zhuǎn)速 | r.p.m | 3000-4000 |
磨頭電機(jī)功率 | Kw | 1.5 |
B軸電機(jī) | Nm | 10 |
X軸伺服電機(jī) | Nm | 7或8 |
Y軸伺服電機(jī) | Nm | 7或8 |
Z軸伺服電機(jī) | Nm | 7或8 |
機(jī)床凈重 | kg | 6500 |
機(jī)床外形尺寸 | mm | 2800×1380×2230 |
因技術(shù)進(jìn)步,以上參數(shù)如有變化,恕不另行通知