● X軸驅(qū)動裝置裝配高精度玻璃光柵尺,實現(xiàn)X軸方向移動的高精準定位。 SV-3200
系列為驅(qū)動裝置采用陶瓷導軌以提高抗磨性,延長使用壽命。
● X軸的分辨力為0.05µm。
● 標準或低測力檢出器(4mN/0.75mN)的選擇,無需考慮設(shè)備本體是否有裝配傾斜
裝置。
● Z2軸(立柱)的700mm型上市。
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