超精密三坐標(biāo)測量機
是新一代高精度高速度固定龍門式坐標(biāo)測量機。具有完善的測量精度,全花崗石結(jié)構(gòu),配備陶瓷Z軸,完善的氣動平衡和優(yōu)化的氣浮軸承分布,能夠大限度減少移動部件的質(zhì)量。Micro Plus測量機集單點探測和模擬掃描技術(shù)為一體的高性能檢測設(shè)備,同時可配制接觸式和非接觸掃描測。基于新一代高穩(wěn)定性控制系統(tǒng),并與精度補償系統(tǒng)進行結(jié)合與優(yōu)化,加上*的算法,可實現(xiàn)高速、高精度模擬開環(huán)以及閉環(huán)掃描。
技術(shù)規(guī)格參數(shù):
型號 | 行程范圍(mm) X*Y*Z | MPEe(um) |
Micro Plus | 600*800*600 | 0.9+2.5L/1000 |
800*1000*600 |
產(chǎn)品要點:
1、封閉框架固定龍門式結(jié)構(gòu)
2、工作臺在底座的燕尾導(dǎo)軌上移動
3、Y向?qū)к壥蔷匦位◢徥琙軸采用超精加工陶瓷
4、各軸使用預(yù)載荷空氣軸承
5、測量系統(tǒng):HEIDENHAIN 金屬光柵
6、氣動可調(diào)節(jié)的主軸平衡系統(tǒng)