ZCS-165QD06
晶圓研磨用超聲波氣靜壓永磁同步電主軸
一、 系統(tǒng)組成
本系統(tǒng)主要是由ZCS-165QD06永磁同步電主軸,高精度編碼器,5.5KW同步驅(qū)動控制器,三級精密過濾器,空氣壓力保護(hù)開關(guān)組成系統(tǒng)。
主軸安裝方式采用法蘭安裝方式。
主軸冷卻采用水冷卻方式。
砂輪安裝方式詳見圖紙。
二、 技術(shù)特點(diǎn):
●該氣靜壓電主軸采用 “納米碳纖維材料”制作的高剛性、大承載、低耗氣量、自潤滑磨損的高精密氣靜壓(空氣軸承)電主軸。其軸向和徑向承載力高,耗氣量低,自潤滑功能,具有低碳綠色環(huán)保磨損的特點(diǎn)。
●超聲波電主軸內(nèi)置超聲波機(jī)構(gòu)可以自動控制轉(zhuǎn)換超聲波工作狀態(tài),具有提高加工效率、提高表面光潔度、延長砂輪使用壽命、不易粘砂輪等的特性。
●空氣電主軸具有氣密封+迷宮式防水防塵結(jié)構(gòu),密封效果更佳。
●主軸中心配置有中心出水孔,冷卻水從軸后端進(jìn)入前端噴出。
●主軸電機(jī)采用永磁同步電機(jī),內(nèi)置高精度編碼器,用同步驅(qū)動控制器控制實(shí)現(xiàn)無級調(diào)速。
●本系統(tǒng)在氣路進(jìn)口加有壓力傳感器,具有過流、過載、氣壓低于下限等故障報(bào)警保護(hù)功能,并且具有和上位機(jī)通訊功能(RS-485)。
三、 ZCS-165QD06氣靜壓電主軸主要技術(shù)指標(biāo)
1、 主要技術(shù)指標(biāo)
2、 主要精度指標(biāo)
①、 軸頭徑向跳動≤ 0.1um
②、 端面跳動 ≤ 0.2um
③、 動平衡精度等級≤ G0.4
④、 動態(tài)全速度范圍內(nèi)振動V ≤ 0.5mm/s
⑤、 噪聲全速度范圍內(nèi) ≤ 60 dB
⑥、 主軸外殼高溫升 ≤ 30 ℃
3、特性曲線
4、產(chǎn)品尺寸