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氮化鋁（AlN）是一種六方纖鋅礦結構的共價鍵化合物，晶體結構和微觀組織如圖1所示。室溫強度高、熱膨脹系數(shù)小、抗熔融金屬侵蝕的能力強、介電性能良好，這些得天獨厚的優(yōu)點使其成為高導熱材料而引起國內外的普遍關注。作為高性能的介電陶瓷，氮化鋁可以取代碳化硅，甚至部分取代氧化鋁，被視為新一代很有發(fā)展前途的優(yōu)良的基片材料。氮化鋁陶瓷數(shù)控加工廠

由氮化鋁粉末制備氮化鋁陶瓷坯體，需要利用成型工藝把粉體制備成坯體，然后再進行燒結工作。氮化鋁成型工藝主要有干壓成型、等靜壓成型、流延法成型和注射成型等。

干壓成型機。干壓成型（軸向壓制成型）是將經(jīng)表面活性劑改性等預處理的 AlN 粉體加入至金屬模具中，緩慢施加壓力使其成為致密的坯體成型工藝。實質是借助外部施壓，依靠AlN粉末顆粒之間的相互作用力使坯體保持一定的形狀和致密度高致密坯體，其有利于陶瓷燒結，可以降低燒結溫度，提高陶瓷致密度。由于AlN粉末易水解，干壓成型中常用的水-*（PVA）不能用于AlN粉末的壓制，可選用石蠟與有機溶劑代替。

等靜壓成型是傳統(tǒng)干壓法的改進方法，將AlN 粉體置于高壓容器中，利用液體的不可壓縮性和液體對壓力傳導的特性，將粉體置于彈性材料制造的成型模具中，從不同的方向對待壓粉體進行均勻施壓，以液體對模具進行加壓而使坯體成型的方法。

流延成型法是一種十分重要的陶瓷基片的成型工藝。將AlN 粉體與復合粘合劑（分散劑、溶劑、粘結劑和增塑劑組成）混合均勻后得到 AlN 流延料漿，除氣等過程處理后的漿料倒入料斗，經(jīng)刮刀口后，形成厚度均勻、表面光滑附著于光滑帶上的薄層，再經(jīng)干燥后制備成具有良好韌性的坯體；排膠燒結之后得到 AlN 基片材料。

AlN陶瓷注射成形是粉末注射成形應用于陶瓷粉末成型的一種方法，以塑料注射成形工藝為基礎，經(jīng)過技術改進而產(chǎn)生的成型技術。其基本過程為先在AlN粉末中加入粘結劑并使其混合均勻，形成具有粘塑性的喂料，在加熱狀態(tài)下，利用注射成型機將喂料注入模具模腔內冷凝成型，經(jīng)過加熱去除粘結劑后，便可用于燒結，如圖3所示。喂料的流變性是影響注射成型成品質量的一個重要因素，通常我們希望喂料粘度較低，這就要求原料粉末與粘結劑相容性要好，而且混合均勻。氮化鋁陶瓷數(shù)控加工廠