具體型號 | VMS250 |
(X/Y/Z軸)量測行程(mm) | 250*150*200 |
全機尺寸(mm) | 1000*650*1650 |
X,Y軸量測精度 | (3+L/200)μm |
放大倍率 | 光學(xué)放大率:0.7--4.5X,影像放大率:28--180X |
光學(xué)尺解析度 | 1μm |
測量系統(tǒng) | OVM Lite |
重復(fù)性 | 2μm |
操作方式 | 手動 |
CCD | 3DFamily-L 41萬像素,彩色 |
機臺承重量 | 30KG |
具體型號 | VMS300 |
(X/Y/Z軸)量測行程(mm) | 300*200*200 |
全機尺寸(mm) | 1000*650*1650 |
X,Y軸量測精度 | (3+L/200)μm |
放大倍率 | 光學(xué)放大率:0.7--4.5X,影像放大率:28--180X |
光學(xué)尺解析度 | 1μm |
測量系統(tǒng) | OVM Lite |
重復(fù)性 | 2μm |
操作方式 | 手動 |
CCD | 3DFamily-L 41萬像素,彩色 |
機臺承重量 | 30KG |
具體型號 | VMS400 |
(X/Y/Z軸)量測行程(mm) | 400*300*200 |
全機尺寸(mm) | 1000*650*1650 |
X,Y軸量測精度 | (3+L/200)μm |
放大倍率 | 光學(xué)放大率:0.7--4.5X,影像放大率:28--180X |
光學(xué)尺解析度 | 1μm |
測量系統(tǒng) | OVM Lite |
重復(fù)性 | 2μm |
操作方式 | 手動 |
CCD | 3DFamily-L 41萬像素,彩色 |
機臺承重量 | 30KG |
電源供給 | 110/220V,50/60HZ,240W |
保修期 | 1年 |