【無需真空破壞閥】
通過無正壓的真空脫離,無需采取措施防止極小芯片被吹走。
無需繁瑣地調(diào)整破壞壓力、流量及定時。
不使用真空破壞閥,實現(xiàn)了精簡化。
【占用空間最小化】
與以往的帶破壞單元相比,安裝面積減少44%,重量減少53%,于制造裝置的小型化。
即使在極小空間也可安裝,裝置設計的自由度更高。
通過輕量化,便于安裝在裝置可動部。
【可配備壓力傳感器】
單元中配備真空用壓力傳感器,外形更小巧。
負壓檢測也實現(xiàn)省空間。
采用U形卡銷固定壓力傳感器,提高可維護性。
【可安裝真空用過濾器】
配管過程中無需安裝過濾器。
真空用過濾器采用快插式更換。
型號 | 名稱 | 配管口徑 | 備注 |
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MV3QRA | 直接配管 | M5,快插接頭Φ4, Φ6 | |
MV3QRB | 底板配管 | M5,快插接頭Φ4, Φ6 |