主要特征：
• 采用的全鋁技術(shù)，的剛性/質(zhì)量比，保證機(jī)器的高性能和高精度。
• X向橫梁采用超高精密三角梁(Tricision®)技術(shù)，相比矩形橫梁，重心更低，質(zhì)量剛性比更佳，運(yùn)動(dòng)更加可靠，該技術(shù)受到保護(hù)。
• Y軸采用獲得的燕尾型導(dǎo)軌，提高了測(cè)量機(jī)的精度和重復(fù)性。
• Z向采取獲得了的氣動(dòng)平衡技術(shù)，采用柔性懸掛系統(tǒng)，避免了軸向運(yùn)動(dòng)和傳動(dòng)之間的干涉問(wèn)題，提高了測(cè)量機(jī)的精度和*穩(wěn)定性。
• 三軸均采用高精度德國(guó)HEIDENHAIN光柵尺，系統(tǒng)分辨率可達(dá)0.078μm，同時(shí)采用一端固定，一端自由伸縮的方式安裝，減少了光柵尺的變形，保證在溫度變化時(shí)的線性伸縮。
• 各運(yùn)動(dòng)軸均采用直流伺服驅(qū)動(dòng)+增強(qiáng)型同步帶，確保大行程測(cè)量機(jī)運(yùn)動(dòng)的平穩(wěn)性和定位的準(zhǔn)確性。
• 采用海克斯康為Croma專(zhuān)業(yè)打造的IDC-I控制系統(tǒng)，21項(xiàng)誤差空間修正技術(shù)和自動(dòng)調(diào)諧功能，保證了機(jī)器的動(dòng)態(tài)性能和測(cè)量精度。
• 軟件為業(yè)界的PC-DMIS BASIC (PC-DMIS PREMIUM)，功能強(qiáng)大，易學(xué)高效。
規(guī)格型號(hào)與技術(shù)指標(biāo)：
| 機(jī)器型號(hào) | 10128 | 10158 | 10218 | |
| 行程(mm) | X | 1000 | 1000 | 1000 |
| Y | 1200 | 1500 | 2100 | |
| Z | 800 | 800 | 800 | |
| 外形尺寸(mm) | Lx | 1600 | 1600 | 1600 |
| Ly | 2177 | 2477 | 3077 | |
| Lz | 2837 | 2837 | 2837 | |
| 測(cè)量空間(mm) | Dx | 1130 | 1130 | 1130 |
| Dz | 118 | 118 | 118 | |
| Dz1 | 940 | 940 | 940 | |
| 平臺(tái)(mm) | Ph | 580 | 590 | 590 |
| Py | 1910 | 2210 | 2810 | |
| 支撐(mm) | Sy | 1000 | 1200 | 1450 |
| Sy1 | 455 | 505 | 680 | |
| 承重(Kg) | 1300 | 1500 | 1800 | |
| 機(jī)臺(tái)重量(Kg) | 1785 | 2090 | 2625 | |
| MPEp(μm) | 3.5 | |||
| MPEe(μm) | 3.2+L/300 | |||
| 光柵尺分辨率 | 0.078μm | |||
| 空間移動(dòng)速度 | 520mm/s | |||
| 空間移動(dòng)加速度 | 1470 mm/s² | |||
| 流量/供氣壓力 | 2.5dm3/s (180NL/min) >0.7MPa | |||
| 溫度 | 20±2℃ | |||
| 濕度 | 45%-75% | |||
