一次測(cè)量，實(shí)現(xiàn)高精度輪廓分析及粗糙度分析

顯著特點(diǎn)

·寬范圍的高精度傳感器，量程可達(dá)±2mm。

·即使測(cè)量分辨率高達(dá)0.8nm時(shí)，量程也能達(dá)到200μm。

·在寬范圍（量程為±2mm時(shí)），殘值噪聲≤0.025μm。

測(cè)量功能

·輪廓測(cè)量：各種類型工件表面的線要素，點(diǎn)要素、點(diǎn)與點(diǎn)的距離、線與線的距離、各要素的位置度包括距離、平行度、垂直度、角度、槽深、槽寬、半徑，可進(jìn)行直線度分析、凸度分析。

·輪廓分析：：Pa、Pt、Pp、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr

·粗糙度測(cè)量：Ra、Rp、Rv、Rz、Rz（jis）、R3z、RzDIN、Rzj、Rmax、Rc、Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、R△q、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rmr

·波紋度參數(shù)：Wa、Wt、Wp、Wv、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr