1)激光器系統(tǒng)
2)外光路系統(tǒng)
3)X/Y/Z /theta四軸精細(xì)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)
4)機(jī)器人上下料系統(tǒng)
5)雙CCD自動(dòng)識(shí)別定位系統(tǒng)
6)自動(dòng)調(diào)焦對(duì)焦系統(tǒng)
7)抽氣除塵系統(tǒng)(凈化)
8)邏輯控制系統(tǒng)
9) 花崗巖基座平臺(tái)
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5)雙CCD自動(dòng)識(shí)別定位系統(tǒng)
6)自動(dòng)調(diào)焦對(duì)焦系統(tǒng)
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