1)激光器系統(tǒng)
2)外光路系統(tǒng)
3)X/Y/theta三軸精細(xì)運(yùn)動系統(tǒng)
4)機(jī)器人上下料系統(tǒng)
5)尋邊定位系統(tǒng)
6)高速掃描振鏡系統(tǒng)
7)調(diào)焦對焦系統(tǒng)
8)抽氣除塵系統(tǒng)(凈化)
9)邏輯控制系統(tǒng)
10)花崗巖基座平臺
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5)尋邊定位系統(tǒng)
6)高速掃描振鏡系統(tǒng)
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