?產(chǎn)品簡介 ?產(chǎn)品特性 ? 落地式薄膜沉積系統(tǒng)，模塊化設(shè)計(jì) ? 多達(dá)6個磁控濺射源，DC與RF可選，用于金屬及絕緣層鍍膜，濺射靶角度連續(xù)可調(diào)，可獨(dú)立/依次/共同濺射 ? 多達(dá)10個熱蒸發(fā)源，電阻熱蒸發(fā)源與低溫?zé)嵴舭l(fā)源可選，用于金屬及有機(jī)物鍍膜 ? 多坩堝電子束源，用于難熔金屬或者蒸汽壓低的金屬材料 ? 標(biāo)配預(yù)真空鎖，實(shí)現(xiàn)高真空環(huán)境下的樣品傳遞 ? 大可支持11英寸樣品 ? 樣品臺：可加熱（800℃），冷卻，旋轉(zhuǎn)，升降，偏壓，行星式襯底夾具 ? 可加4路反應(yīng)氣體，Ar，N2，O2可選配有MFC控制 ? 配置高精度真空規(guī)進(jìn)行壓力全自動控制，真空度低至 <5 × 10-7 mbar ? 配置Inficon SQC-310膜厚測量儀用于薄膜厚度監(jiān)測 ? 操作簡單：通過觸屏或計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)全自動操作 ? 自定義并可存儲多個recipe ? 操作安全：自帶各種軟硬件互鎖功能 ? 售后維護(hù)簡單 ? 兼容手套箱與潔凈間 ? 可選配離子源：用于樣品預(yù)清洗及納米表面改性 ? 可選配高溫退火系統(tǒng) ?應(yīng)用： 該系統(tǒng)用于半導(dǎo)體材料、OLED實(shí)驗(yàn)研究及有機(jī)太陽能薄膜電池實(shí)驗(yàn)研究。廣泛應(yīng)用于高校、科研院所的薄膜材料的科研與小批量制備。
MiniLab125是英國MOORFIELD公司一款落地式大尺寸PVD綜合鍍膜系統(tǒng)，采用模塊化設(shè)計(jì)，可在一臺儀器上實(shí)現(xiàn)電子束蒸發(fā)鍍膜，常規(guī)電阻熱蒸發(fā)鍍膜，低溫?zé)嵴舭l(fā)系統(tǒng)及磁控濺射鍍膜,可用于鍍金屬膜，有機(jī)物薄膜及絕緣材料的單層或者多層功能膜與復(fù)合膜，同時該系統(tǒng)還可加載等離子源，刻蝕系統(tǒng)與退火系統(tǒng)，是小批量鍍膜客戶的理想選擇。
MiniLab125 型PVD綜合鍍膜系統(tǒng)
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- 公司名稱微納（香港）科技有限公司
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- 型 號
- 所 在 地
- 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
- 更新時間 2020-08-19
- 訪問次數(shù)542
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微納（香港）科技有限公司(MNT)是一家專業(yè)的高科技儀器與設(shè)備供應(yīng)商。是由海外留學(xué)歸國人員創(chuàng)辦的專門從事國外檢測設(shè)備代理的高科技公司，我們已經(jīng)與多所高校共建了合作關(guān)系，致力于為中國材料，機(jī)械，半導(dǎo)體，醫(yī)學(xué)，汽車，航天等領(lǐng)域提供*的檢測設(shè)備與技術(shù)解決方案。 目前， 微納（香港）科技有限公司（MNT）是多家歐美、韓國儀器供應(yīng)商在中國的代理商，主要負(fù)責(zé)相關(guān)設(shè)備在中國的銷售，技術(shù)支持與售后服務(wù)， 產(chǎn)品涵蓋原子力顯微鏡、光學(xué)輪廓儀、表面輪廓儀、三維表面形貌儀、納米壓痕儀、微米壓痕儀、納米劃痕儀、微米劃痕儀、摩擦磨損試驗(yàn)機(jī)、熱蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)、磁控濺射鍍膜系統(tǒng)、電子束蒸發(fā)系統(tǒng)、CVD、等離子刻蝕機(jī)、真空高溫退火爐、棱鏡耦合儀、共聚焦拉曼顯微鏡等諸多產(chǎn)品，客戶遍及中國各大高校、科研院所及*企業(yè)。 我司的服務(wù)理念是：專業(yè)成就品質(zhì)，服務(wù)創(chuàng)造價值，誠信鑄就品牌！
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MiniLab125 型PVD綜合鍍膜系統(tǒng) 產(chǎn)品信息
關(guān)鍵詞：金屬材料
