?產(chǎn)品簡介 MiniLab060是英國MOORFIELD公司一款落地式高性能科研級PVD綜合鍍膜系統(tǒng)，采用模塊化設(shè)計，可在一臺儀器上實(shí)現(xiàn)電子束蒸發(fā)鍍膜，常規(guī)電阻熱蒸發(fā)鍍膜，低溫?zé)嵴舭l(fā)系統(tǒng)及磁控濺射鍍膜,可用于鍍金屬膜，有機(jī)物薄膜及絕緣材料的單層或者多層功能膜與復(fù)合膜，同時該系統(tǒng)還可加載等離子源，刻蝕系統(tǒng)與退火系統(tǒng)，是科研用戶PVD的理想選擇。 ?產(chǎn)品特性 ? 落地式薄膜沉積系統(tǒng)，模塊化設(shè)計 ? 可選擇4個DC與RF磁控濺射源，用于金屬及絕緣層鍍膜，濺射靶角度連續(xù)可調(diào)，可獨(dú)立/依次/共同濺射 ? 可選擇4個電阻熱蒸發(fā)源與低溫?zé)嵴舭l(fā)源，用于金屬及有機(jī)物鍍膜 ? 可選擇電子束源，用于難熔金屬或者蒸汽壓低的金屬材料 ? 大可支持11英寸樣品 ? 兼容手套箱 ? 可加4路反應(yīng)氣體，Ar，N2，O2可選配有MFC控制 ? 配置高精度真空規(guī)進(jìn)行壓力全自動控制，真空度低至 <5×10-7 mbar ? 配置Inficon SQC-310膜厚測量儀用于薄膜厚度監(jiān)測 ? 操作簡單：通過觸屏或計算機(jī)實(shí)現(xiàn)全自動操作 ? 自定義并可存儲多個recipe ? 操作安全：自帶各種軟硬件互鎖功能 ? 售后維護(hù)簡單 ? 樣品臺：可加熱（800℃），冷卻，旋轉(zhuǎn)，升降，偏壓，行星式襯底夾具 ? 可選配預(yù)真空鎖，實(shí)現(xiàn)高真空環(huán)境下的樣品傳遞 ? 可選配離子源：用于樣品預(yù)清洗及納米表面改性 ? 可選配高溫退火系統(tǒng) ?典型結(jié)構(gòu) ? 難熔金屬蒸鍍：配置多坩堝電子束源 ? 金屬薄膜與絕緣層蒸鍍：配置4個磁控濺射源 ? 金屬薄膜蒸鍍：配置4個電阻高溫?zé)嵴舭l(fā)源 ? 有機(jī)薄膜與金屬薄膜同時蒸鍍：配置2個電阻高溫?zé)嵴舭l(fā)源與2個LTE低溫?zé)嵴舭l(fā)源 ?應(yīng)用 該系統(tǒng)用于半導(dǎo)體材料、OLED實(shí)驗(yàn)研究及有機(jī)太陽能薄膜電池實(shí)驗(yàn)研究。廣泛應(yīng)用于高校、科研院所的薄膜材料的科研與小批量制備。
MiniLab060型PVD綜合鍍膜系統(tǒng)
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- 公司名稱微納（香港）科技有限公司
- 品 牌
- 型 號
- 所 在 地
- 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
- 更新時間 2020-08-19
- 訪問次數(shù)492
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MiniLab060型PVD綜合鍍膜系統(tǒng) 產(chǎn)品信息
關(guān)鍵詞：金屬材料
