?產(chǎn)品簡(jiǎn)介 NanoPVD-S10A-WA是英國(guó)MOORFIELD公司一款桌面式高性能科研級(jí)大尺寸磁控濺射系統(tǒng)，可配置DC磁控濺射靶與RF磁控濺射靶，用于沉積納米級(jí)的金屬及絕緣材料的單層或者多層功能膜與復(fù)合膜，該系統(tǒng)被上許多學(xué)術(shù)團(tuán)隊(duì)采用，是科研用戶磁控濺射的理想選擇。 ?產(chǎn)品特性 ? 緊湊型桌面結(jié)構(gòu)，模塊化設(shè)計(jì) ? 可選擇DC與RF兩種磁控濺射源，用于金屬薄膜及絕緣材料，如氧化物與氮化物濺射 ? 大可支持8英寸樣品 ? 可安裝2個(gè)2”磁控濺射靶，濺射靶角度連續(xù)可調(diào)，可獨(dú)立/依次/共同濺射 ? 可加3路反應(yīng)氣體，Ar，N2，O2有MFC控制 ? 壓力全自動(dòng)控制，真空度低至 <5×10-7 mbar ? 配置Quartz crystal sensor用于薄膜厚度監(jiān)測(cè) ? 操作簡(jiǎn)單：通過(guò)觸屏或計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)操作 ? 自定義并可存儲(chǔ)多個(gè)recipe ? 操作安全：自帶各種軟硬件互鎖功能 ? 可選加熱樣品臺(tái)，高溫度500℃，精度+/-1℃ ? 可選旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái) ? 售后維護(hù)簡(jiǎn)單 ? 兼容超凈間 ?應(yīng)用 該系統(tǒng)用于半導(dǎo)體材料、OLED實(shí)驗(yàn)研究及有機(jī)太陽(yáng)能薄膜電池實(shí)驗(yàn)研究。廣泛應(yīng)用于高校、科研院所的薄膜材料的科研與小批量制備。
NanoPVD-S10A-WA型科研級(jí)大尺寸磁控濺射系統(tǒng)
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- 公司名稱微納（香港）科技有限公司
- 品 牌
- 型 號(hào)
- 所 在 地
- 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2020-08-19
- 訪問(wèn)次數(shù)626
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顯微鏡,光學(xué)輪廓儀,表面輪廓儀,摩擦磨損試驗(yàn)機(jī)
NanoPVD-S10A-WA型科研級(jí)大尺寸磁控濺射系統(tǒng) 產(chǎn)品信息
