?產(chǎn)品簡(jiǎn)介 NanoPVD-T15A是英國(guó)MOORFIELD公司一款桌面式高性能科研級(jí)熱蒸發(fā)系統(tǒng),配置有常規(guī)電阻熱蒸發(fā)系統(tǒng)及低溫?zé)嵴舭l(fā)系統(tǒng),分別用于金屬薄膜蒸鍍及有機(jī)薄膜蒸鍍,該系統(tǒng)被上許多學(xué)術(shù)團(tuán)隊(duì)采用,廣泛應(yīng)用于OLED/OPV/OFET的研究領(lǐng)域。 ?產(chǎn)品特性 ? 緊湊型桌面結(jié)構(gòu),模塊化設(shè)計(jì) ? 可同時(shí)用于金屬薄膜蒸鍍及有機(jī)薄膜蒸鍍 ? 4英寸樣品臺(tái) ? 真空度低至 <5 × 10-7 mbar ? 配置Quartz crystal sensor用于薄膜厚度監(jiān)測(cè) ? 高可安裝4個(gè)LTE低溫?zé)嵴舭l(fā)源(用于蒸鍍有機(jī)物薄膜) ? 低溫?zé)嵴舭l(fā)源高溫度600℃ ? 高2個(gè)電阻熱蒸發(fā)源(用于蒸鍍金屬薄膜) ? 電阻熱蒸發(fā)源的高溫度1700℃ ? 高縱橫比倉(cāng)室,用于獲得高質(zhì)量薄膜 ? 操作簡(jiǎn)單:通過(guò)觸屏或計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)操作 ? 自定義并可存儲(chǔ)多個(gè)recipe ? 操作安全:自帶各種軟硬件互鎖功能 ? 可選加熱樣品臺(tái),高溫度500℃ ? 可選旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái) ? 售后維護(hù)簡(jiǎn)單 ? 兼容超凈間 ?典型結(jié)構(gòu) ? 有機(jī)薄膜蒸鍍:配置4個(gè)LTE低溫?zé)嵴舭l(fā)源 ? 金屬薄膜蒸鍍:配置2個(gè)電阻高溫?zé)嵴舭l(fā)源 ? 有機(jī)薄膜與金屬薄膜同時(shí)蒸鍍:配置2個(gè)電阻高溫?zé)嵴舭l(fā)源與2個(gè)LTE低溫?zé)嵴舭l(fā)源 ?應(yīng)用 該系統(tǒng)用于有機(jī)半導(dǎo)體材料的物理化學(xué)性能研究實(shí)驗(yàn)、有機(jī)半導(dǎo)體器件的原理研究實(shí)驗(yàn)、OLED實(shí)驗(yàn)研究及有機(jī)太陽(yáng)能薄膜電池實(shí)驗(yàn)研究。可廣泛應(yīng)用于高校、科研院所的薄膜材料的科研與小批量制備。
nanoPVD-T15A型科研級(jí)熱蒸發(fā)系統(tǒng)
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- 公司名稱微納(香港)科技有限公司
- 品 牌
- 型 號(hào)
- 所 在 地
- 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2020-08-19
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