§ 產(chǎn)品簡(jiǎn)介: nanoCVD-WPG型大尺寸石墨烯CVD系統(tǒng)是英國(guó)MOORFIELD公司與英國(guó)曼徹斯特大學(xué)“諾貝爾獎(jiǎng)”石墨烯團(tuán)隊(duì)共同開(kāi)發(fā)的一款專門(mén)大尺寸生長(zhǎng)高質(zhì)量石墨烯的納米CVD系統(tǒng),大樣品尺寸可達(dá)4寸,該系統(tǒng)采用的“冷壁技術(shù)”及“等離子軟刻蝕技術(shù)”生長(zhǎng)石墨烯,具有生長(zhǎng)速度快,石墨烯質(zhì)量高,耗量少,無(wú)污染的優(yōu)點(diǎn),是制備大尺寸高質(zhì)量二維材料石墨烯用戶的理想選擇。 § 產(chǎn)品特性: ? 采用全自動(dòng)“冷壁”技術(shù)與*的加熱臺(tái)設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)高效加熱和低反應(yīng)材料消耗,運(yùn)行費(fèi)用低,石墨烯質(zhì)量高。 ?壓力:<5×10-7mbar ? 裝樣簡(jiǎn)單 ? 樣片尺寸:3寸或4寸 ? 等離子體源:150W/13.56MHz RF源 ? 可在冷壁腔體中加等離子電極 ? 加熱單元:低熱載,高加熱率,高溫度1100℃,分辨率為1℃,熱電偶溫度實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)溫度;, ? 三路氣體配帶流量控制,標(biāo)準(zhǔn)為Ar,H2與CH4; ? 內(nèi)置壓縮氣體風(fēng)扇高效冷卻散熱; ? 生產(chǎn)時(shí)間短:一次完整生長(zhǎng)流程時(shí)間小于30分鐘; ? 觸摸式液晶觸摸屏界面可自設(shè)和存儲(chǔ)多達(dá)30個(gè)生長(zhǎng)流程,生長(zhǎng)條件精確控制,可重復(fù)生成制備石墨烯; ? 聯(lián)機(jī)數(shù)據(jù)采集,生長(zhǎng)流程全自動(dòng)控制; ? 系統(tǒng)維護(hù)便捷方便,壓力、氣體流量和溫度參數(shù)連鎖確保使用安全。 § 生長(zhǎng)體系: ? 基底:Cu, Ni, etc. (films or foils) ? 氣體:H2, Ar, N2, etc. ? 碳源原料:CH4, C2H4, solids (PMMA), etc. § 應(yīng)用: ? Graphene & 2D materials ? Electrodes for photovoltaics ? Touchscreen displays ? High-performance electronics ? Biological, chemical and mechanical sensors ? Electrical energy storage
大尺寸石墨烯納米CVD系統(tǒng)
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- 品 牌
- 型 號(hào)
- 所 在 地
- 廠商性質(zhì)經(jīng)銷(xiāo)商
- 更新時(shí)間 2020-08-19
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