表面粗度 | |
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測(cè)定范圍 | Z:1200um X:100mm |
觸針/測(cè)定力 | R2um 0.75mN |
直線(xiàn)度精度 | 0.15um/100mm |
輪廓形狀 | |
解析項(xiàng)目 | 要素/方位向量/非球面/滾珠螺桿/MASTER比較 |
測(cè)定范圍 | Z:60mm X:100mm |
觸針/測(cè)定力 | R25um 30mN以下 |
直線(xiàn)度精度 | 1.0um/100mm |
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