機構·方式 | 多孔質靜壓空氣軸承·工作臺回轉式 |
---|---|
回轉精度 | 0.05um (JISB 7451) |
測定徑 | 內(nèi)外徑都是Φ550mm(※EC5100H的機種) |
積載質量 | 200kg (※EC5100H的機種) |
上下移動量 | 1000mm(使用b觸針臂時)(※EC5100H的機種) |
工作臺移動范圍 | X:800mm(左500mm, 右300mm) Y:士60mm |
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參考價 | 面議 |
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機構·方式 | 多孔質靜壓空氣軸承·工作臺回轉式 |
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回轉精度 | 0.05um (JISB 7451) |
測定徑 | 內(nèi)外徑都是Φ550mm(※EC5100H的機種) |
積載質量 | 200kg (※EC5100H的機種) |
上下移動量 | 1000mm(使用b觸針臂時)(※EC5100H的機種) |
工作臺移動范圍 | X:800mm(左500mm, 右300mm) Y:士60mm |
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