白光干涉儀
詳細(xì)技術(shù)參數(shù):
測(cè)量原理 白光干涉測(cè)量
測(cè)量物鏡 10X 20X 50X
垂直測(cè)量范圍: 100um(400um可選)
垂直分辨率 0.1nm
X,Y測(cè)量范圍: 1.6X1.2mm 0.8X0.6mm 0.32X0.24mm
工作距離: 3.6mm 3.6mm 1.7mm
側(cè)向分辨率 2.5um 1.25um 0.5um
白光干涉儀