- 系 統(tǒng):
- 傳感器與生產(chǎn)線相結(jié)合使得在測(cè)量微米和亞微米級(jí)別的表面特性時(shí)該設(shè)備可以提供高分辨率,可重復(fù)型和可溯源的結(jié)果。所測(cè)得結(jié)果的分辨率是傳統(tǒng)2D測(cè)量和接觸式測(cè)量所不能比擬的。
- 優(yōu) 勢(shì):
- 在研發(fā)和生產(chǎn)過(guò)程中,自動(dòng)變焦(Focus-variation)技術(shù)可以提供高分辨率、高重復(fù)性的測(cè)量結(jié)果。因此IF-SensorR25為研發(fā)和生產(chǎn)提供了同一個(gè)測(cè)量流程平臺(tái)。標(biāo)準(zhǔn)化界面(QDAS)支持生產(chǎn)中的簡(jiǎn)易快速整合,實(shí)現(xiàn)了生產(chǎn)線和實(shí)驗(yàn)室測(cè)量結(jié)果的對(duì)比。
光學(xué)三維在線測(cè)量?jī)xIF-Sensor R25
光學(xué)三維在線測(cè)量?jī)xIF-SensorR25的技術(shù)參數(shù):
大掃描高度:25mm
垂直分辨率:20nm
小測(cè)量半徑:2μm
小測(cè)量楔角:20°
小測(cè)量粗糙度(Ra):80nm
小測(cè)量粗糙度(Sa):50nm
大測(cè)量?jī)A斜角:87°