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主要參數(shù)
MPT-1UN/RL010 MPT-1UN/RL025 MPT-1UN/RL050 MPT-1UN/RL100 運(yùn)動自由度 X X X X 行程范圍(μ m±10%) 10 25 50 100 位移分辨率(nm) 1 2.5 5 10 重復(fù)定位精度(nm) -/10 -/25 -/50 -/100 大負(fù)載(Kg) 1 1 1 1 靜電容量(μ F±10%) 4 6 4 6 運(yùn)動方向上剛度(N/μm) 90 45 0.5 0.2 工作電壓(V) 0~150 0~150 0~150 0~150 工作溫度范圍 (℃ ) -20 ~ 80 -20 ~ 80 -20 ~ 80 -20 ~ 80 外形尺寸A×B×C(mm) 30×45×45 48×45×45 30×45×45 30×60×45 模型下載 IGS IGS IGS IGS
開環(huán)工作臺*匹配電源型號:HPV-3C0150A0500;閉環(huán)工作臺*匹配電源型號:PPC-1CR0150