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主要參數(shù)
開(kāi)環(huán)工作臺(tái)*匹配電源型號(hào):HPV-3C0150A0500;閉環(huán)工作臺(tái)*匹配電源型號(hào):PPC-1CR0150 MPT-1LN/RL060 MPT-1LN/RL100 MPT-1LN/RL140 運(yùn)動(dòng)自由度 Z Z Z 行程范圍(μ m±10%) 60 100 140 位移分辨率(nm) 6 10 14 重復(fù)定位精度(nm) -/60 -/100 -/140 大負(fù)載(Kg) 1 1 1 靜電電容(uF±10%) 90 120 140 運(yùn)動(dòng)方向上剛度(N/μm±20%) 0.2 0.2 0.2 工作電壓(V) 0~150 0~150 0~150 工作溫度范圍 (℃ ) -20 ~ 80 -20 ~ 80 -20 ~ 80 外形尺寸A(mm) 33 43 51 模型下載 IGS IGS IGS