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芯明天直驅(qū)機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺(tái)

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公司名稱哈爾濱芯明天科技有限公司
品牌
型號(hào)P77Z
所在地
廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間 2020-08-10
訪問次數(shù)526

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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

哈爾濱芯明天科技有限公司是專業(yè)從事微運(yùn)動(dòng)器（壓電陶瓷）和微運(yùn)動(dòng)控制器（壓電陶瓷控制器）產(chǎn)品的開發(fā)、生產(chǎn)、銷售及服務(wù)的高科技企業(yè)，我們的微運(yùn)動(dòng)器和微運(yùn)動(dòng)控制器產(chǎn)品是推動(dòng)微制造、微工業(yè)、微軍事、微生物、微醫(yī)療、微光學(xué)等微觀領(lǐng)域發(fā)展的核心技術(shù)，是了解和操縱微觀世界的機(jī)器心臟。

哈爾濱芯明天科技有限公司經(jīng)過多年的項(xiàng)目研究與技術(shù)積累，擁有了自己的核心技術(shù)，開發(fā)出了系列化的微運(yùn)動(dòng)器與微運(yùn)動(dòng)控制器產(chǎn)品，廣泛地應(yīng)用于國(guó)內(nèi)各高校、科研院所及生物顯微鏡、光學(xué)儀器、燃油噴射系統(tǒng)、微小器件加工機(jī)床的公司；公司與哈爾濱工業(yè)大學(xué)的多個(gè)研究所有著多年的密切合作關(guān)系，按照科研與產(chǎn)業(yè)化相結(jié)合的道路持續(xù)發(fā)展；公司擁有雄厚的技術(shù)儲(chǔ)備和研發(fā)制造能力，并且擁有一群充滿熱情和富有創(chuàng)新能力的青年隊(duì)伍。

微運(yùn)動(dòng)器（壓電陶瓷）產(chǎn)品是微小運(yùn)動(dòng)或微小變化的執(zhí)行器，典型特點(diǎn)是體積小、重量輕、輸出力大、功耗低、運(yùn)動(dòng)速度快、運(yùn)動(dòng)精度高、運(yùn)動(dòng)分辨率高。

微運(yùn)動(dòng)控制器（壓電陶瓷控制器）產(chǎn)品是控制微運(yùn)動(dòng)器如何產(chǎn)生和產(chǎn)生多大的微小運(yùn)動(dòng)或變化的控制器，與微運(yùn)動(dòng)器配套使用；具有液晶顯示、智能控制算法、驅(qū)動(dòng)功率大、嵌入式計(jì)算機(jī)控制等特點(diǎn)。

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壓電偏轉(zhuǎn)鏡,壓電納米掃描臺(tái),傳感器,控制器

產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

芯明天直驅(qū)機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺(tái) P77壓電掃描臺(tái)為一維Z軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，壓電平臺(tái)中心為106mm大通光孔，壓電陶瓷直驅(qū)機(jī)構(gòu)，內(nèi)置高性能壓電陶瓷，可以實(shí)現(xiàn)Z 軸20μm的位移行程，無摩擦柔性導(dǎo)向機(jī)構(gòu)具有超高的分辨率，閉環(huán)版本定位精度可達(dá)納米級(jí)，是光學(xué)移相器的選擇。

芯明天直驅(qū)機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺(tái) 產(chǎn)品信息

芯明天直驅(qū)機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺(tái)P77系列壓電掃描臺(tái)為一維Z軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，壓電平臺(tái)中心為106mm大通光孔，壓電陶瓷直驅(qū)機(jī)構(gòu)，內(nèi)置高性能壓電陶瓷，可以實(shí)現(xiàn)Z 軸20μm的位移行程，無摩擦柔性導(dǎo)向機(jī)構(gòu)具有超高的分辨率，閉環(huán)版本定位精度可達(dá)納米級(jí)，是光學(xué)移相器的選擇。

芯明天直驅(qū)機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺(tái)P77壓電掃描臺(tái)典型應(yīng)用

• 顯微成像

• 表面檢測(cè)

• 閉環(huán)重復(fù)定位精度高

• 干涉/計(jì)量

• 精密定位

• 移相器 •

光學(xué)捕獲

應(yīng)用案例

大孔徑、大承載、高諧振頻率

P77系列壓電掃描臺(tái)采用優(yōu)異的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)，利用有限元分析優(yōu)化，剛度可達(dá)8 N/ μm，空載諧振頻率 300Hz。

閉環(huán)版本內(nèi)置高精度傳感器，對(duì)位移實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)反饋，可實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的重復(fù)定位精度及線性度。

壓電掃描臺(tái)中心106mm的大通光孔，該產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于激光平面干涉儀等設(shè)備。

芯明天P77壓電移相器以其大通孔、納米級(jí)分辨率、高精度等特點(diǎn)廣泛應(yīng)用于現(xiàn)代干涉儀中，大大提高了干涉儀的測(cè)量精度。

P77壓電掃描臺(tái)特性：

Z軸運(yùn)動(dòng)

• 大行程20μm

• 大承載5kg

• 通孔直徑：Ø106mm

技術(shù)參數(shù)：

型號(hào)	尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán)	P77.Z20S P77.Z20K	單位
運(yùn)動(dòng)自由度		Z
標(biāo)稱行程范圍（0~120V）		14	μm±20%
大行程范圍（-20~150V）		20	μm±20%
傳感器類型		SGS/-
通孔尺寸		Ø106	mm
閉/開環(huán)分辨率		1/0.5	nm
閉環(huán)線性度		0.2/-	%F.S.
閉環(huán)重復(fù)定位精度		0.1/-	%F.S.
俯仰/偏航/滾動(dòng)		<10	µrad
推/拉力		120/50	N
運(yùn)動(dòng)方向剛度		8	N/μm±20%
空載諧振頻率		300	Hz±20%
閉/開環(huán)空載階躍時(shí)間		5/2.5	ms±20%
閉環(huán)空載工作頻率	10%行程	60	Hz±20%
	*行程	10
大承載		5	kg
靜電容量		5.4	μF±20%
材質(zhì)		鋁
重量		1600	g±5%