P76系列壓電物鏡定位器為大負(fù)載壓電物鏡定位器，負(fù)載能力可達(dá)500g，Z軸直線運(yùn)動(dòng)范圍可達(dá)110μm，采用柔性鉸鏈設(shè)計(jì)機(jī)構(gòu)，無 摩擦，直線性好，閉環(huán)型號定位精度高。分離式螺紋適配器設(shè)計(jì)，可適配多種型號的顯微鏡。
特性：
• 位移行程110μm
• 大負(fù)載500g
• 毫秒級響應(yīng)時(shí)間
• 閉環(huán)重復(fù)定位精度高
• 聚焦穩(wěn)定性好
典型應(yīng)用
• 三維成像 • 干涉/計(jì)量
• 自動(dòng)聚焦系統(tǒng) • 共焦顯微
• 晶圓切割 • 半導(dǎo)體測試
螺紋適配器便于安裝
P76物鏡定位器與物鏡之間通過適配器連接，將物鏡快速鎖定在 預(yù)期位置 。 多種螺紋 牙可選 ，如 M27× 0. 75、 M 26× 0. 75、 M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等，也可定制，便于與顯 微鏡集成安裝。
大負(fù)載、高頻響、高分辨率
P76納米掃描聚焦系統(tǒng)的設(shè)計(jì)是為了大負(fù)載、大孔徑 物鏡在現(xiàn)代高分辨率顯微應(yīng)用中達(dá)到的階躍時(shí)間。它 極其堅(jiān)固的設(shè)計(jì)提供了非常快的穩(wěn)定時(shí)間及掃描頻率，即 使帶載幾百克的物鏡時(shí)。多個(gè)壓電驅(qū)動(dòng)器的旋轉(zhuǎn)對稱排列 及撓曲和杠桿元件的優(yōu)化設(shè)計(jì)，使它具有較高的剛度，同 時(shí)保證了優(yōu)異的導(dǎo)向精度和動(dòng)態(tài)性。
P76壓電物鏡定位器的大通光孔徑為22mm，大 負(fù)載為500g，它兼容多光子顯微和共聚焦顯微應(yīng)用中常用 的大視場物鏡。P76壓電物鏡定位器可匹配蔡司、尼康、 奧林巴斯、徠卡等多種標(biāo)準(zhǔn)鏡頭。它也可以通過適配器與 手動(dòng)調(diào)節(jié)臺相結(jié)合使用。
技術(shù)參數(shù)：
型號 | 尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán) | P76.Z100S P76.Z100K |
單位 |
運(yùn)動(dòng)自由度 | Z |
| |
標(biāo)稱行程范圍（0~120V） | 80 | μm±20% | |
大行程范圍（-20~150V) | 110 | μm±20% | |
傳感器類型 | SGS/- |
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閉/開環(huán)分辨率 | 5/2.5 | nm | |
閉環(huán)線性度 | 0.05/- | %F.S. | |
閉環(huán)重復(fù)定位精度 | 0.02/- | %F.S. | |
推/拉力 | 70/10 | N | |
運(yùn)動(dòng)方向剛度 | 0.8 | N/μm±20% | |
空載諧振頻率 | 800 | Hz±20% | |
閉/開環(huán)空載階躍時(shí)間 | 5/2 | ms±20% | |
閉環(huán)空載工作頻率 | 10%行程 | 400 |
Hz±20% |
*行程 | 50 | ||
大承載 | 0.5 | kg | |
靜電容量 | 7.2 | μF±20% | |
材質(zhì) | 鋼、鋁 |
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重量 | 520 | g±5% | |
以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。
