P22系列壓電偏轉鏡是一維θx軸偏轉鏡/快反鏡，柔性鉸鏈導向設計具有零摩擦及靜態(tài)阻力、優(yōu)異的導向精度。提供納弧度的分辨率 和優(yōu)異的定位穩(wěn)定性。光束偏轉范圍可達8mrad, 具有極快的響應速度（毫秒至微秒級），非常適于動態(tài)操作（例如跟蹤、掃描、漂移及 振動消除）及光學和樣品的靜態(tài)定位。
特性：
• θx一維偏轉 • 大偏轉角度4mrad • 亞毫秒響應時間 • 閉環(huán)定位精度高
典型應用
• 圖像處理與穩(wěn)定 • 隔行掃描、抖動
• 激光掃描 • 光束偏轉
• 光學濾波器/開關
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結構原理
小體積、高動態(tài)、開環(huán)閉環(huán)可選平臺由一個鉸鏈支撐，并且由一個線性壓電促動器推動。鉸 鏈確定了軸心點，兼起到給壓電促動器施加預緊力的作用。單個 鉸鏈單個促動器設計的優(yōu)點是結構簡單、體積小巧、性價比高 等。如果角度偏轉時工作環(huán)境溫度變化范圍較大，*使用差分 驅動壓電偏轉鏡。
壓電驅動俯仰/偏轉臺（快反鏡/傾斜鏡，光束偏轉，相移 器）提供比音圈電機類產(chǎn)品更高的加速度及帶寬，θx軸偏轉范圍 為4mrad，偏轉分辨率達0.1μrad，開環(huán)閉環(huán)可選，閉環(huán)傳感器 包括應變傳感器及電容傳感器，可獲得更高的定位精度。
超小體積設計，具有非常快的響應速度，可帶載Ø15mm的 鏡片實現(xiàn)0.8ms的階躍時間。
P22系列壓電偏轉鏡技術參數(shù)：
型號 |
尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán) |
P22.U3S P22.U3K |
單位 |
運動自由度 | θx |
| |
標稱行程范圍（0~120V） | 2.5 | mrad±20% | |
大行程范圍（-20~150V） | 4 | mrad±20% | |
傳感器類型 | SGS/- |
| |
閉/開環(huán)分辨率 | 0.3/0.1 | μrad | |
閉環(huán)線性度 | 0.2/- | %F.S. | |
閉環(huán)重復定位精度 | 0.15/- | %F.S. | |
空載諧振頻率 | 3 | kHz±20% | |
閉/開環(huán)空載階躍時間 | 3/0.8 | ms±20% | |
閉環(huán)空載 工作頻率 | 10%行程 | 100 |
Hz±20% |
*行程 | 40 | ||
靜電容量 | 1.8 | μF±20% | |
材質(zhì) | 鋼 |
| |
重量 | 80 | g±5% | |
以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。
