XP-721壓電物鏡定位器為小體積常規(guī)型壓電物鏡定位器,采用分離式螺紋適配器設(shè)計(jì),可與多種顯微鏡配套使用。
特點(diǎn):
• 位移行程110μm
• 大承載200g
• 毫秒級(jí)響應(yīng)時(shí)間
• 閉環(huán)重復(fù)定位精度高
• 聚焦穩(wěn)定性好
典型應(yīng)用
• 三維成像 • 干涉/計(jì)量
• 表面結(jié)構(gòu)分析 • 共焦顯微
• 生物科技 • 半導(dǎo)體測(cè)試
螺紋適配器便于安裝
XP-721壓電物鏡定位器與物鏡之間通過適配器連接,將物鏡快 速鎖定在預(yù)期位置。多種螺紋牙可選,如M27×0.75、M26×0.75、 M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等,也可定制,便于與顯 微鏡集成安裝。
快速安裝、高穩(wěn)定性、長(zhǎng)使用壽命
XP-721系列壓電物鏡定位器為通用型顯微成像聚焦定位 器,采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng),可實(shí)現(xiàn)的掃描范圍為110μm。
倒置光學(xué)顯微鏡
XP-721系列壓電物鏡定位器安裝在倒置光學(xué)顯微鏡中。
技術(shù)參數(shù):
型號(hào) | 尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán) | XP-721.S XP-721.K |
單位 |
運(yùn)動(dòng)自由度 | Z |
| |
標(biāo)稱行程范圍(0~120V) | 80 | μm±20% | |
大行程范圍(-20~150V) | 110 | μm±20% | |
傳感器類型 | SGS/- |
| |
閉/開環(huán)分辨率 | 10/3 | nm | |
閉環(huán)線性度 | 0.2/- | %F.S. | |
閉環(huán)重復(fù)定位精度 | 0.1/- | %F.S. | |
推/拉力 | 30/10 | N | |
運(yùn)動(dòng)方向剛度 | 0.3 | N/μm±20% | |
空載諧振頻率 | 500 | Hz±20% | |
閉/開環(huán)空載階躍時(shí)間 | 10/2 | ms±20% | |
閉環(huán)空載工作頻率 | 10%行程 | 60 |
Hz±20% |
*行程 | 20 | ||
大承載 | 0.2 | kg | |
靜電容量 | 3.6 | μF±20% | |
材質(zhì) | 鋁 |
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重量 | 250 | g±5% |
以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測(cè)得。