LG-2MM激光測微儀為非接觸式測量儀,它的量程為2mm,更換不同測頭大測量范圍可達(dá)10mm,靜態(tài)分辨率可達(dá)7.6nm。
特性:
• 激光測量 • 量程0~2mm • 高精度 • 非接觸測量 • 采樣頻率40kHz
Laser激光測微儀系列?原理
激光三角法位移測量的原理是用一束激光以某一角度聚焦在被測物 體表面,然后從另一角度對物體表面上的激光光斑進(jìn)行成像,物體表面 激光照射點的位置高度不同,所接受散射或反射光線的角度也不同,用 CCD光電探測器測出光斑像的位置,就可以計算出主光線的角度,從而 計算出物體表面激光照射點的位置高度。當(dāng)物體沿激光線方向發(fā)生移動 時,測量結(jié)果就將發(fā)生改變,從而實現(xiàn)用激光測量物體的位移。
優(yōu)勢
精度高,不受被測物的材料、質(zhì)地、形狀、反射率的限制。從白色到 黑色,從金屬到陶瓷、塑料都可以測量,并且非接觸測量對被測物表面 無磨損。模塊化結(jié)構(gòu)分別由USB接口模塊、供電模塊、測頭模塊三部分 組成,測頭模塊可組拼級聯(lián)進(jìn)行多通道測量。
Laser激光測微儀系列?技術(shù)參數(shù)
型號 | LG-2MM | 單位 | |
測量范圍 | 0~2 | mm | |
參考距離 | 25 | mm | |
光斑大小(直徑) | 30 | μm | |
線性 | 佳值 | 典型值 |
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0.01 | 0.02 | ±%F.S. | |
重復(fù)性(靜態(tài)) | 20 | 40 | nm |
重復(fù)性(動態(tài)) | 100 | 200 | nm |
分辨率(靜態(tài)) | 7.6 | nm | |
分辨率(動態(tài)) | 20 | nm | |
大采樣頻率 | 40 | kHz | |
輸出頻率 | 大 4 | kHz | |
取樣周期 | 256/512 μs 1/2/4/8/16/32/64 ms |
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工作帶寬 | 1300, 650, 325, 163, 81, 40, 20, 10, 5 | Hz | |
激光功率 | < 5 | mW | |
激光等級 | 3R |
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激光波長 | 670 | nm | |
可用模式 | 彌漫性或鏡面性 |
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工作溫度范圍 | 0~40 | ° C | |
存儲溫度范圍 | -20~70 | ° C | |
濕度范圍 | 10~95% 不結(jié)露 |
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溫度系數(shù) | ±0.05 | % F.S./° C | |
激光測頭外形尺寸 | 76.2×76.2×26.6(不包含連接器) | mm | |
重量 | 203 | g | |
計算機(jī)通信模塊 | USB2.0 接口模塊 |
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供電模塊 | 24VDC/0.13A |
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