P73.Z500系列壓電物鏡定位器為大行程壓電物鏡定位器，Z軸直線運(yùn)動(dòng)范圍可達(dá)550μm，采用柔性鉸鏈設(shè)計(jì)機(jī)構(gòu)，無摩擦、運(yùn)動(dòng)直 線性好且閉環(huán)型號(hào)定位精度高。分離式螺紋適配器設(shè)計(jì)，可適配多種型號(hào)的顯微鏡，廣泛應(yīng)用于大范圍顯微成像、雙光子顯微鏡等領(lǐng)域。
螺紋適配器便于安裝
P73物鏡定位器與物鏡之間通過適配器連接，將物鏡快速鎖定在 預(yù)期位置 。 多種螺紋 牙 可 選 ， 如M27× 0. 75、 M 26× 0. 75、 M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等，也可定制，便于與顯 微鏡集成安裝。
大行程、響應(yīng)速度快、分辨率高
P73壓電物鏡定位器是大行程、高速、壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的聚 焦顯微掃描裝置，產(chǎn)品體積小但可實(shí)現(xiàn)的位移高達(dá)550μm。
P73采用柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，無機(jī)械摩擦、無機(jī)械間隙、 納米級(jí)分辨率，具有超高的定位精度及超快的響應(yīng)速度。
該系列壓電物鏡定位器具有大剛度、諧振頻率高等特 點(diǎn)，可以實(shí)現(xiàn)滿行程20ms的階躍時(shí)間，負(fù)載 150g后階躍時(shí) 間小于30ms且重復(fù)度達(dá)滿行程的0.05%F.S.。
P73壓電物鏡定位器可匹配蔡司、尼康、奧林巴斯、徠卡 等多種標(biāo)準(zhǔn)鏡頭。它也可以通過適配器與手動(dòng)調(diào)節(jié)臺(tái)相結(jié)合 使用。
P73.Z500系列壓電物鏡定位器技術(shù)參數(shù)：
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型號(hào) | 尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán) | P73.Z500S P73.Z500K |
單位 |
| 運(yùn)動(dòng)自由度 | Z |
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| 標(biāo)稱行程范圍（0~120V） | 400 | μm±20% | |
| 大行程范圍（-20~150V) | 550 | μm±20% | |
| 傳感器類型 | SGS/- |
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| 閉/開環(huán)分辨率 | 18/7 | nm | |
| 閉環(huán)線性度 | 0.1/- | %F.S. | |
| 閉環(huán)重復(fù)定位精度 | 0.05/- | %F.S. | |
| 推/拉力 | 80/10 | N | |
| 運(yùn)動(dòng)方向剛度 | 0.2 | N/μm±20% | |
| 空載諧振頻率 | 170 | Hz±20% | |
| 閉/開環(huán)空載階躍時(shí)間 | 20/10 | ms±20% | |
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閉環(huán)空載工作頻率 | 10%行程 | 40 |
Hz±20% |
| *行程 | 10 | ||
| 大承載 | 0.4 | kg | |
| 靜電容量 | 14 | μF±20% | |
| 材質(zhì) | 鋼、鋁 |
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| 重量 | 450 | g±5% | |
以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測(cè)得。
特性:
• 大行程550μm
• 大負(fù)載0.4kg
• 毫秒級(jí)響應(yīng)時(shí)間
• 閉環(huán)重復(fù)定位精度高
• 聚焦穩(wěn)定性好
典型應(yīng)用
• 三維成像 • 干涉/計(jì)量 • 生物科技
• 表面結(jié)構(gòu)分析 • 共焦顯微 • 半導(dǎo)體測(cè)試
