高壓環(huán)形壓電陶瓷疊堆定制是將單晶體壓電陶瓷片與金屬電極層交替疊堆粘接而成,標準驅(qū)動電壓0~500V,0~1000V,高壓疊堆陶瓷因其出力大,靜電容量低等特點,適用于大負載以及加載預(yù)緊力后的動態(tài)的應(yīng)用。
特性:
• 大位移130μm • 500V、1000V驅(qū)動電壓
• 出力大 • 多種型號可選
• 靜電容量低
• 響應(yīng)速度快
外觀形狀
高壓疊堆壓電陶瓷主要包括高壓柱形與高壓環(huán)形兩種形狀, 外徑越大出力越大,大出力可達50000N, 長度越大位移越大, 大位移可達130μm。
工藝結(jié)構(gòu)
高壓壓電陶瓷是將單層壓電陶瓷片與金 屬片電極層進行堆疊粘接,因此高壓壓電陶瓷 為復(fù)合材料結(jié)構(gòu)。相較于低壓壓電陶瓷,相同 體積,靜電容量比較低,在預(yù)載力的條件下動 態(tài)性能更好。
工藝特點
單層陶瓷厚度:0.5mm 靜電容量/cm³:100nF 熱膨脹系數(shù):+2ppm/℃
材料特性 壓電驅(qū)動500V/1000V
高壓疊堆壓電陶瓷配套芯明天E00/E01系列高 壓開環(huán)壓電陶瓷控制器,*C系列單路或多路控 制器。
應(yīng)用:
• 納米定位 • 主動振動控制
• 半導(dǎo)體加工測試 • 光學(xué)調(diào)整
• 隔震平臺
• 腔調(diào)諧
高壓柱形疊堆壓電陶瓷
PSt 1000/10/xx PSt 1000/16/xx PSt 1000/25/xx PSt 1000/35/xx
高壓環(huán)形壓電陶瓷疊堆定制技術(shù)參數(shù)
型號 | 大 / 標稱位移* [µm]±15% | 長度L [mm] | 靜電容量 [nF]±20% | 剛度 [N/µm]±10% | 諧振頻率 [kHz] | 推力 [N] |
PSt 1000/10/7 | 12/7 | 9 | 20 | 300 | 60 | 4000 |
PSt 1000/10/20 | 24/18 | 18 | 45 | 150 | 40 | 4000 |
PSt 1000/10/25 | 35/25 | 27 | 85 | 100 | 30 | 4000 |
PSt 1000/10/40 | 55/40 | 36 | 110 | 75 | 25 | 4000 |
PSt 1000/10/60 | 80/60 | 54 | 170 | 50 | 20 | 4000 |
PSt 1000/10/80 | 105/80 | 72 | 220 | 35 | 15 | 4000 |
PSt 1000/16/7 | 12/7 | 9 | 60 | 800 | 60 | 12000 |
PSt 1000/16/20 | 27/20 | 18 | 150 | 400 | 40 | 12000 |
PSt 1000/16/40 | 55/40 | 36 | 360 | 200 | 25 | 12000 |
PSt 1000/16/60 | 80/60 | 54 | 540 | 120 | 20 | 12000 |
PSt 1000/16/80 | 105/80 | 72 | 720 | 90 | 15 | 12000 |
PSt 1000/25/7 | 12/7 | 9 | 140 | 1800 | 60 | 25000 |
PSt 1000/25/20 | 27/20 | 18 | 350 | 900 | 40 | 25000 |
PSt 1000/25/40 | 55/40 | 36 | 800 | 450 | 25 | 25000 |
PSt 1000/25/60 | 80/60 | 54 | 1250 | 300 | 20 | 25000 |
PSt 1000/25/80 | 105/80 | 72 | 1700 | 200 | 15 | 25000 |
PSt 1000/35/7 | 12/7 | 9 | 300 | 4000 | 60 | 50000 |
PSt 1000/35/20 | 27/20 | 18 | 800 | 2000 | 40 | 50000 |
PSt 1000/35/40 | 55/40 | 36 | 1600 | 1000 | 25 | 50000 |
PSt 1000/35/60 | 80/60 | 54 | 2500 | 600 | 20 | 50000 |
PSt 1000/35/80 | 105/80 | 72 | 3300 | 450 | 15 | 50000 |
*PSt1000: 標稱位移是在0~1000V驅(qū)動電壓下的位移行程,大行程是在-200V~1000V,對于高可靠的*使用,建議驅(qū)動電壓在 0~800V。