P66一維X軸壓電納米定位臺(tái)以壓電陶瓷為驅(qū)動(dòng)源并采用直驅(qū)式驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，是壓電與柔性鉸鏈相結(jié)合的納米定位 系統(tǒng)。可以通過(guò)疊加組合的方式組成二、三維壓電納米定位臺(tái)，實(shí)現(xiàn)XYZ軸34μm的位移行程，可選擇內(nèi)置高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)納米級(jí) 精密定位控制。產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于干涉、顯微、精密加工等領(lǐng)域。
典型應(yīng)用
• 干涉/ 掃描 • 計(jì)量
• 質(zhì)量保證測(cè)試 • 微加工/精密控制
• 光盤(pán)驅(qū)動(dòng)測(cè)試 • 半導(dǎo)體技術(shù)
應(yīng)用實(shí)例：原子力探針掃描顯微鏡
芯明天P66.XY壓電納米定位臺(tái)以其高響應(yīng)頻率、高精度、高可 靠性等優(yōu)勢(shì)廣泛應(yīng)用于原子力探針掃描顯微鏡中。
特性：
• 大位34μm• 開(kāi)環(huán)閉環(huán)可選 • 大承載5kg• 重復(fù)定位精，可達(dá)納米級(jí)• 亞毫秒響應(yīng)時(shí)間
1-3維平移臺(tái)
P66系列壓電納米定位臺(tái)包括X、XY、XZ、XYZ 多種規(guī)格型號(hào)，可以實(shí)現(xiàn)1-3維納米級(jí)精密運(yùn)動(dòng)與定 位。
開(kāi)環(huán)與閉環(huán)版本可選
P66系列壓電納米定位臺(tái)可以選擇開(kāi)環(huán)或閉環(huán)版 本，閉環(huán)版本壓電納米定位臺(tái)內(nèi)部配有高分辨率及快 速響應(yīng)的應(yīng)變傳感器（SGS），配備在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的合 適位置，它可向控制器反饋高帶寬、高精度的電壓信 號(hào)。
傳感器使用全橋配置以消除熱漂移，使得該系列 納米定位臺(tái)可以實(shí)現(xiàn)滿行程0.05%的線性度與重復(fù) 度。
P66一維X軸壓電納米定位臺(tái)技術(shù)參數(shù);
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尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開(kāi)環(huán) | P66.X30S P66.X30K | P66.XY30S P66.XY30K | P66.XYZ30S P66.XYZ30K |
單位 |
運(yùn)動(dòng)自由度 | X | X、Y | X、Y、Z |
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標(biāo)稱行程范圍（0~120V） | 24 | 24/軸 | 24/軸 | μm±20% | |
大行程范圍（-20~150V） | 34 | 34/軸 | 34/軸 | μm±20% | |
傳感器類型 | SGS/- | SGS/- | SGS/- |
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閉/開(kāi)環(huán)分辨率 | 1.5/0.7 | 1.5/0.7 | 1.5/0.7 | nm | |
閉環(huán)線性度 | 0.05/- | 0.05/- | 0.1/- | %F.S. | |
閉環(huán)重復(fù)定位精度 | 0.05/- | 0.05/- | 0.05/- | %F.S. | |
俯仰/偏航/滾動(dòng) | <15 | <15 | <15 | µrad | |
推/拉力 | 150/15 | 120/15 | 80/15 | N | |
運(yùn)動(dòng)方向剛度 | 5 | X4/Y4.2 | X2.8/Y3/Z3.2 | N/μm±20% | |
空載諧振頻率 | 2.6 | X1.1/Y1.8 | X1.2/Y0.8/Z0.5 | kHz±20% | |
閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間 | 5/0.8 | 5/0.8 | 10/0.8 | ms±20% | |
閉環(huán)空載 工作頻率 | 10%行程 | 500 | 260 | 150 |
Hz±20% |
*行程 | 50 | 25 | 15 | ||
大承載 | 5 | 4.5 | 3.5 | kg | |
靜電容量 | 3.6 | 3.6/軸 | 3.6/軸 | μF±20% | |
材質(zhì) | 鋁 | 鋁 | 鋁 |
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重量 | 120 | 260 | 500 | g±5% | |
以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測(cè)得。
