P84.X一維X軸壓電宏微復(fù)合臺(tái)：
宏微復(fù)合機(jī)構(gòu)是通過(guò)宏動(dòng)調(diào)節(jié)測(cè)微頭與壓電微動(dòng)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)完成大范圍精密定位需求。
通過(guò)測(cè)微頭與壓電微調(diào)機(jī)構(gòu)相結(jié)合的方式實(shí)現(xiàn)宏微復(fù)合機(jī)構(gòu)，宏微復(fù)合機(jī)構(gòu)可以與宏動(dòng)平臺(tái)配合使用，組成大行程高精度壓電平移臺(tái)
P84.X一維X軸壓電宏微復(fù)合臺(tái)技術(shù)參數(shù)
型號(hào) | P84.X100S | P84.X100K | 單位 | |
運(yùn)動(dòng)自由度 | X | X |
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行程范圍 | 13mm+110µm | 13mm+110µm | 粗調(diào)+精調(diào) | |
平直度 | <3 | <3 | µm/13mm | |
重量 | 400 | 400 | g±5% | |
殼體材料 | 鋼、鋁 | 鋼、鋁 |
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外形尺寸（長(zhǎng)×寬×高） | 140×90×23 | 140×90×23 | mm×mm×mm | |
手動(dòng)調(diào)節(jié)部分-千分尺 | ||||
粗調(diào)行程范圍 | 13 | 13 | mm | |
粗調(diào)分辨率（千分尺） | 10 | 10 | µm | |
導(dǎo)軌 | 交叉滾柱導(dǎo)軌 | 交叉滾柱導(dǎo)軌 |
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驅(qū)動(dòng)方式 | 螺紋副（分厘卡） | 螺紋副（分厘卡） |
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千分尺靈敏度 | <2 | <2 | µm | |
臺(tái)面尺寸 | 65×65 | 65×65 | mm×mm | |
千分尺讀數(shù) | 10 | 10 | （微米/格） | |
千分尺螺距 | 0.5 | 0.5 | mm/rev. | |
壓電驅(qū)動(dòng)精調(diào)部分-壓電驅(qū)動(dòng) | ||||
精調(diào)行程范圍 | 0~120 V，Nominal | 80 | 80 | µm±20% |
-20~150 V，Max | 110 | 110 | µm±20% | |
傳感器類(lèi)型 | SGS | - |
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步進(jìn)/分辨率 | 7 | 2.5 | nm, typ. | |
閉環(huán)線性度(壓電驅(qū)動(dòng)) | 0.1 | - | %F.S. | |
重復(fù)定位精度 | 0.05 | - | %F.S. | |
運(yùn)動(dòng)方向推力 | 16 | 16 | N | |
剛度 | 1 | 1 | N/µm±20% | |
承載能力（Z向）* | 500 | 500 | g | |
工作溫度范圍** | -20~80 | -20~80 | °C | |
靜電容量 | 1.8 | 1.8 | µF±20% | |
出線長(zhǎng) | 1.5 | 1.5 | m±10mm | |
傳感/電壓連接器 | LEMO | LEMO |
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注：壓電驅(qū)動(dòng)的標(biāo)稱行程是在 0~120V 的驅(qū)動(dòng)電壓下的位移行程，大驅(qū)動(dòng)電壓可在 -20V~150V；對(duì)于高可靠的*使用，建議驅(qū)動(dòng)電壓在
0~120V。
以上所提參數(shù)與測(cè)試環(huán)境及測(cè)試設(shè)備有關(guān)。參數(shù)更新不予通知，具體請(qǐng)與銷(xiāo)售工程師確認(rèn)。
