三維XYZ向壓電納米定位臺 6.8μm價格為小體積1~3維壓電運動平臺,平臺內(nèi)部采用無摩擦、無空回的柔性鉸鏈導(dǎo)向機構(gòu),采用有限元仿真分析優(yōu)化,柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有非常高的導(dǎo)向精度,且具有高剛性、高負(fù)載、無摩擦、免維護(hù)等特點。壓電定位臺具有非常高的控制精度,分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級,定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級,運動平臺采用無磁材質(zhì),使用過程中不受磁場的影響,且壓電平臺體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊易于集成。
三維XYZ向壓電納米定位臺 6.8μm價格
特性
• 1~3維自由組合 • 位移行程6.8μm • 亞毫秒響應(yīng)時間 • 承載0.4kg • 重復(fù)定位精度可達(dá)納米級
小體積、高精度、響應(yīng)速度快 | 傳感器類型 | 頻率負(fù)載曲線 | |
P63系列壓電納米定位臺非常重要的特點是精度高、體積小巧,P63.XYZ三維壓電運動平臺的尺寸僅為30×30×42mm(一維X軸運動壓電平臺尺寸為30×30×21mm),易于集成到掃描儀器中。 P63系列壓電納米定位臺是高精密納米定位系統(tǒng),是為AFM、SPM、STM等顯微掃描納米操作等應(yīng)用而設(shè)計的,慣性低,響應(yīng)時間可達(dá)0.3ms,可配置高精度閉環(huán)傳感器進(jìn)行高分辨率的高速掃描。 |
應(yīng)用 • 光纖端面檢測 • 納米壓印 • 納米計量 •微操控 • 納米光刻 •干涉法/ 掃描顯微/納米定位 •生物技術(shù)/半導(dǎo)體技術(shù) •質(zhì)量保證測試 •微加工/精密控制
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