三維XYZ向壓電納米定位臺(tái) 37.5μm價(jià)格為二維XY、三維XYZ壓電平臺(tái),P13.XYZ為三維壓電納米定位臺(tái),臺(tái)體采用平行運(yùn)動(dòng)學(xué)機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理,內(nèi)置高性能壓電陶瓷,位移為 37.5μm/軸。開(kāi)環(huán)閉環(huán)版本可供選擇。產(chǎn)品主要應(yīng)用于光學(xué)顯微、生物科技等領(lǐng)域。
特性 三維XYZ向壓電納米定位臺(tái) 37.5μm價(jià)格
• 三維XYZ軸運(yùn)動(dòng) • 行程37.5μm • 體積小巧 • 亞毫秒響應(yīng)時(shí)間 • 納米級(jí)定位精度
小體積、無(wú)機(jī)械間隙、高分辨率 | 傳感器類(lèi)型 | 頻率負(fù)載曲線 | |
固態(tài)鉸鏈平行四邊形設(shè)計(jì)原理,平行運(yùn)動(dòng)無(wú)機(jī)械間隙,該結(jié)構(gòu)原理使其具有高的分辨率,運(yùn)動(dòng)直線性好。 P13系列壓電納米定位臺(tái)可以安裝到其他的定位系統(tǒng)并且可以配置傳感測(cè)量裝置(應(yīng)變計(jì)傳感器)消除壓電陶瓷的遲滯與蠕變特性。 P13壓電平移臺(tái)適用于動(dòng)態(tài)使用,是掃描應(yīng)用的理想選擇。
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閉環(huán)階躍穩(wěn)定時(shí)間圖 P13.XY閉環(huán)版本滿行程的穩(wěn)定時(shí)間約為30ms。 | 應(yīng)用 • 2D掃描系統(tǒng) • 光路調(diào)整 • 微操作 •原子力顯微鏡 • 納米定位 • 干涉法/ 掃描顯微/納米定位 •生物技術(shù)/半導(dǎo)體技術(shù) •質(zhì)量保證測(cè)試 • 微加工/精密控制 |