P93.X100一維X向快速*定位器 118μm價(jià)格快速*定位器是為精密車削加工而研發(fā)設(shè)計(jì)的，利用自身所具有的高響應(yīng)頻率、高剛度、高精度等特性，驅(qū)動(dòng)*在運(yùn)動(dòng)方向快速微進(jìn)給運(yùn)動(dòng)，能夠?qū)崿F(xiàn)復(fù)雜面形工件或結(jié)構(gòu)的精密加工。
特性 P93.X100一維X向快速*定位器 118μm價(jià)格
• 超高精度 • 承載能力大 • 閉環(huán)精度高 • 高剛度 • 運(yùn)動(dòng)行程118µm
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防塵防液滴、高剛度 | 采用大出力壓電陶瓷 | 閉環(huán)分辨率高 |
快速*定位器可進(jìn)行防塵防液滴處理，使其能工作在濕度環(huán)境。 定位器臺(tái)體材料采用不銹鋼材質(zhì)以加工過程中的穩(wěn)定性，可以結(jié)構(gòu)穩(wěn)定可靠，加工精度不會(huì)因顫動(dòng)而受影響。
| 快速*定位臺(tái)采用的壓電陶瓷的出力是其他壓電納米定位臺(tái)出力的幾倍。 | 不同于振動(dòng)加工，*位置可以通過內(nèi)置傳感進(jìn)行 反饋控制，實(shí)現(xiàn)納米級(jí)分辨率。
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型號(hào) | 尾綴C、L-閉環(huán) | P93.X100C | P93.X100L | P93.X100K | 單位 |
尾綴K-開環(huán) | |||||
運(yùn)動(dòng)自由度 | X | X | X |
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運(yùn)動(dòng)和定位 | |||||
標(biāo)稱行程范圍（0~120V） | 95 | 95 | 95 | µm±20% | |
行程范圍（0~150V） | 118 | 118 | 118 | µm±20% | |
傳感器類型 | CAP | LVDT | - |
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分辨率 | 15 | 20 | 10 | nm，typ. | |
閉環(huán)線性度 | 0.1 | 0.15 | - | %F.S. | |
閉環(huán)重復(fù)定位精度 | 0.03 | 0.05 | - | %F.S. | |
俯仰/偏航/滾動(dòng) | <20 | <20 | <20 | µrad | |
機(jī)械性能 | |||||
運(yùn)動(dòng)方向推/拉力 | 300/25 | 300/25 | 300/25 | N | |
運(yùn)動(dòng)方向剛度 | 3 | 3 | 3 | N/µm±20% | |
空載諧振頻率 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | kHz±20% | |
空載階躍時(shí)間 | 30 | 30 | 7 | ms±20% | |
空載工作頻率* | 10%行程 | 50 | 50 | >50 | Hz±20% |
*行程 | 10 | 10 | >10 | ||
承載能力 | 20 | 20 | 20 | Kg | |
驅(qū)動(dòng)性能 | |||||
靜電容量 | 15 | 15 | 15 | μF±20% | |
其他 | |||||
工作溫度范圍** | -20~80 | -20~80 | -20~80 | °C | |
材質(zhì) | 鋼 | 鋼 | 鋼 |
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外形尺寸（長(zhǎng)×寬×高） | 120×60×60 | 120×60×60 | 120×60×60 | mm | |
重量 | 3500 | 3500 | 3500 | g±5% | |
出線長(zhǎng) | 1.5 | 1.5 | 1.5 | m±10mm | |
傳感/電壓連接器*** | LEMO | LEMO | LEMO |
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*若此工作頻率已接近或超過諧振頻率，建議在小于諧振頻率以下使用，若在此頻率下工作，輸入電壓要足夠小，請(qǐng)從小信號(hào)逐漸調(diào)試。開環(huán)使用時(shí)可達(dá)到的工作頻率大于此頻率。
** 可定制低溫版本及高真空版本。
***連接器可定制。
注：以上所提參數(shù)與測(cè)試環(huán)境、測(cè)試設(shè)備有關(guān)。 運(yùn)動(dòng)臺(tái)面平行度約20μm，粗糙度約1.6至3.2，特殊要求請(qǐng)?jiān)谫徺I前與銷售工程師確認(rèn)。
