P11.XZ二維XZ向壓電納米定位臺(tái) 100μm價(jià)格P11系列壓電納米定位臺(tái)為小體積1~3維壓電平移臺(tái),P11.XZ為二維壓電納米定位臺(tái),平臺(tái)內(nèi)部采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu),一體的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),多維運(yùn)動(dòng)無(wú)耦合。 機(jī)構(gòu)放大式驅(qū)動(dòng)原理,內(nèi)置高性能壓電陶瓷,可實(shí)現(xiàn)100μm位移。閉環(huán)版本定位精度可達(dá)納米級(jí)。采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu),柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有高的導(dǎo)向精度,具有高剛性、高負(fù)載、無(wú)摩擦、免維護(hù)等特點(diǎn)。壓電定位臺(tái)具有控制精度,分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級(jí),定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級(jí),壓電定位臺(tái)為無(wú)磁材質(zhì),使用過(guò)程中不受磁場(chǎng)的影響,壓電定位臺(tái)體積小、結(jié)構(gòu)緊湊易于集成。
P11.XZ二維XZ向壓電納米定位臺(tái) 100μm價(jià)格
大行程、閉環(huán)版本定位精度高、響應(yīng)速度快 | 傳感器類型 | 頻率負(fù)載曲線 | |
P11系列納米定位臺(tái)采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理,內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)源,可以實(shí)現(xiàn)1~3維100μm的精密運(yùn)動(dòng)。 該系列壓電納米定位臺(tái)可以選擇開(kāi)環(huán)或閉環(huán)版本, 閉環(huán)版本采用高精度傳感器對(duì)位置進(jìn)行實(shí)時(shí)檢測(cè)反饋,配置芯明天E00/E01、E72/E73、E52/E53等系列閉環(huán)壓電控制器可以實(shí)時(shí)對(duì)位移進(jìn)行精密調(diào)整,實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的精密定位控制。 P11系列壓電納米定位臺(tái)的響應(yīng)速度快,配套E52系列壓電控制器可實(shí)現(xiàn)0.8ms的階躍時(shí)間。 |