XP-63X一維X向壓電納米定位臺價格壓電納米定位臺為壓電陶瓷直驅(qū)X軸運動定位臺,內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷,采用無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機構(gòu),具有剛度大、分辨 率高、響應(yīng)速度快等特點,可以通過自由組合的方式組成二維XY、三維XYZ納米定位臺。
特性 XP-63X一維X向壓電納米定位臺價格
• 位移60μm • 亞毫秒響應(yīng)時間 • 承載5kg • 1~3維自由組合 • 重復(fù)定位精度可達0.05%F.S.
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1~3維平移臺 | 產(chǎn)品外觀 | 直驅(qū)機構(gòu)式驅(qū)動示意圖 |
XP-63X系列壓電納米定位臺可通過轉(zhuǎn)接板連接, 組成XY,XZ,XYZ多種運動結(jié)構(gòu)。 多種規(guī)格型號可選。 柔性鉸鏈采用精密線切割技術(shù)。 |
小體積、高精度、響應(yīng)速度快 | 傳感器類型 | 頻率負載曲線 | |
XP-63X系列壓電納米定位臺結(jié)構(gòu)設(shè)計,具有大機械剛度、大承載、高的空載諧振頻率等特點。負載情況下也具有高的使用頻率,響應(yīng)時間可 以實現(xiàn)亞毫秒級。例如XP-630帶動20g負載,響應(yīng)時間僅為5ms。 XP-63X系列產(chǎn)品體積小巧,XP-630一維尺寸僅為60×45×18mm,易于與其他平臺設(shè)備集成。 閉環(huán)版本配置應(yīng)變傳感器,可實時檢測位置信號 并反饋給閉環(huán)控制器,控制器通過PID算法對檢測到的位置信號進行修正,從而實現(xiàn)納米級的精密定位。 |
應(yīng)用
• 半導(dǎo)體技術(shù) • 納米壓印 • 納米計量 •微操控 • 納米光刻 •干涉法/ 掃描顯微/納米定位 •生物技術(shù) •質(zhì)量保證測試 •微加工/精密控制
應(yīng)用實例:宏微復(fù)合機構(gòu) 采用XP-633壓電納米定位臺帶動探針作精密位移定位檢測控制,從而完成1mN的精確力控制實驗。 |