XP-611.XZ二維XZ向壓電納米定位臺 100μm為二維X軸及Z軸運動壓電平移臺，采用機構(gòu)放大設(shè)計原理，內(nèi)置高性能壓電陶瓷，可實現(xiàn)X軸及Z軸100μm 的位移行程，柔性鉸鏈導(dǎo)向機構(gòu)無摩擦、無后坐力。可選擇閉環(huán)版本定位精度高，是二維精密定位與掃描的理想選擇。
XP-611.XZ二維XZ向運動納米平移臺，產(chǎn)品體積小巧，結(jié)構(gòu)緊湊，可通過與XP-611.Y(即XP-611.X)組合成三維平移臺，是1~3維平面精密定位理想的選擇。例如干涉光路長度校準(zhǔn)、顯微或掃描應(yīng)用中的樣品定位等。XP-611.XZ為壓電驅(qū)動、無摩擦、柔性導(dǎo)向系統(tǒng)，實現(xiàn)納米級分辨率和毫秒的響應(yīng)時間。
特性 XP-611.XZ二維XZ向壓電納米定位臺 100μm
• 二維XZ軸運動 • 位移行程100μm • 小體積 • 毫秒級響應(yīng)速度 • 納米級定位精度
高穩(wěn)定性、高諧振頻率、體積小巧 | 傳感器類型 | 頻率負載曲線 | |
XP-611系列壓電納米定位臺采用機構(gòu)放大設(shè)計原理，體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊，XP-611.XZ的尺寸僅為 35×35×34.5mm，易于與其他設(shè)備集成安裝。 該系列定位臺采用機構(gòu)放大原理，位移可達 100μm，空載諧振頻率高、響應(yīng)速度快，100μm的階躍時間為0.8ms，該系列產(chǎn)品以其高可靠性，高性價比等特點深得工業(yè)型用戶的青睞。 |  |  |
高分辨率 芯明天XP-611系列定位臺優(yōu)異的設(shè)計結(jié)構(gòu)，小巧的體積，100μm 的行程，內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷，裝配高精度傳感器，定位精度可以 達到納米級，產(chǎn)品*性良好，已經(jīng)應(yīng)用于工業(yè)精密自動化加工領(lǐng)域。 芯明天接受產(chǎn)品定制服務(wù)，下圖為XP-611的定制型XYZ三維壓電平 臺。
| 應(yīng)用 • 光纖定位/光學(xué)掃描 • 納米壓印 • 納米計量 •微操控 • 納米光刻 • 干涉法/ 掃描顯微/納米定位 •生物技術(shù)/半導(dǎo)體技術(shù) •質(zhì)量保證測試 • 微加工/精密控制
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