N50系列二維θx, θz向壓電偏擺臺 價格壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺系列是通過壓電陶瓷驅(qū)動進行精密角度調(diào)整，內(nèi)部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)結(jié)構(gòu)設(shè)計，產(chǎn)品<span text-indent:24px;white-space:normal;background-color:#ffffff;"="" style="font-family: "microsoft yahei"; margin: 0px; padding: 0px;">較高的偏轉(zhuǎn)精度和高的穩(wěn)定性且響應(yīng)速度快，是激光光束掃描以及激光合束等光路調(diào)整的理想選擇。
N50系列為θx, θz軸偏擺/旋轉(zhuǎn)臺，*的承載能力，承載可達60kg，偏轉(zhuǎn)角度±0.25mrad。可帶載20kg負(fù)載高頻率使用。產(chǎn)品主要應(yīng)用于大負(fù)載偏擺/旋轉(zhuǎn)運動實驗，比如模擬空間擾動實驗等。
N50系列二維θx, θz向壓電偏擺臺 價格
特性
• θx, θz偏擺/旋轉(zhuǎn)，角度位移達±0.25mrad/軸 • 承載可達60kg • 閉環(huán)定位精度高 • 外形堅固 • 響應(yīng)速度快
大承載、高精度、高頻率 | 頻率負(fù)載曲線 | 驅(qū)動測試實驗 | |
N50 θx, θz二維偏擺/旋轉(zhuǎn)臺是為空間擾動實驗而設(shè)計的大承載偏擺系統(tǒng)，具有電容閉環(huán)幅值校正功能，可以帶60kg負(fù)載做精密偏轉(zhuǎn)，行程可達±0.25mrad。 N50壓電偏轉(zhuǎn)臺采用有限元分析對結(jié)構(gòu)進行優(yōu)化，具有高的剛度，即使其在負(fù)載的情況下仍然可以實 現(xiàn)高動態(tài)，頻率可以達到500Hz。 可選擇多種傳感器類型，如電容、電感、應(yīng)變計等。該產(chǎn)品已經(jīng)成功應(yīng)用于模擬空間擾動等實驗中。 |
| N50大負(fù)載θx, θz二維偏擺/旋轉(zhuǎn)臺需要三通道控制器進行驅(qū)動控制，根據(jù)所需使用頻率配套不同功率的壓電控制器。如100~200Hz使用頻率，我們*配套E00/E01系列控制器選擇E05驅(qū)動模塊。
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應(yīng)用
• 光束掃描 • 圖像處理/穩(wěn)定 • 光學(xué)、激光掃描、通信、光線偏轉(zhuǎn)、干涉/計量 • 空間擾動模擬系統(tǒng) • 光路調(diào)整 • 掩模與晶片位置調(diào)整 • 光學(xué)顯微成像 • SPM掃描顯微鏡 • 掩模/晶圓定位 • 生物技術(shù) • 表面結(jié)構(gòu)分析
