P66.XYZ三維XYZ向壓電納米定位臺(tái) 30μm價(jià)格直驅(qū)壓電平移臺(tái),是三維XYZ軸運(yùn)動(dòng)壓電定位臺(tái),采用壓電陶瓷直驅(qū)機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)原理,具有體積小、無摩擦、響應(yīng)速度快等特點(diǎn),配置高精度傳感器,可以實(shí)現(xiàn)納米級(jí)分辨率、定位精度具有高的可靠性,壓電平移臺(tái)在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著重要的作用。
特性 P66.XYZ三維XYZ向壓電納米定位臺(tái) 30μm價(jià)格
• 位移30μm/軸 • 電阻與電容傳感器可選 • 多維運(yùn)動(dòng)無耦合 • 承載3.5kg
開環(huán)與閉環(huán)版本可選 | 傳感器類型 | 頻率負(fù)載曲線 | |
P66系列壓電納米定位臺(tái)可以選擇開環(huán)或閉環(huán)版本,閉環(huán)版本壓電納米定位臺(tái)內(nèi)部配有高分辨率及快速響應(yīng)的應(yīng)變傳感器(SGS),配備在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的合適位置,它可向控制器反饋高帶寬、高精度的電壓信號(hào)。 傳感器使用全橋配置以消除熱漂移,使得該系列納米定位臺(tái)可以實(shí)現(xiàn)滿行程0.05%的線性度與重復(fù)度。 |
應(yīng)用 • 光纖端面檢測 • 光纖對(duì)接 • 硬盤測試 • 電化學(xué)加工 • 3D錫膏檢測 •干涉法/ 顯微/納米定位 •生物技術(shù)/半導(dǎo)體技術(shù) •質(zhì)量保證測試 •微加工/精密控制 |